公开(公告)号：CN1515877A

公开(公告)日：2004-07-28

申请号：CN03100220.X

申请日：1998-10-14

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 小高博文 ,  小池淳 ,  山岸喜代志 ,  川西利明 ,  友成健二 ,  井上真一 ,  栃尾征广 ,  宫嵨浩光

IPC: G01F1/68 ,  F23N5/18 ,  F23D11/28 ,  F23N1/00 ,  F23K5/04

CPC classification number: G01F1/696 ,  F23D11/28 ,  F23K5/04 ,  F23K2900/05001 ,  F23N5/184 ,  F23N2005/185 ,  F23N2039/06 ,  G01F1/692 ,  G01F1/6965

Abstract: 一种流量传感器和流量计。在基板的第1面之上将薄膜发热体和薄膜感温体通过绝缘层进行层叠构成流量检测部(12)，为使从流量检测部传出的热量传递给被检测流体并被吸热而形成被检测流体管路(4)。在流量检测部(12)上根据薄膜发热体的发热在薄膜感温体上执行接受被检测流体吸热影响的感温，根据该结果检测管路(4)内的被检测流体的流量。在流量检测部(12)的基板第2面上用接合剂(16)粘合延伸到管路(4)内的翅片(14)，翅片(14)延伸到管路(4)的圆形断面的中央部分。翅片(14)在管路(8)方向的尺寸比厚度L2要大。这样即使是粘度比较高的粘性流体，即使是比较少的流量，或者在很宽的环境温度条件下，也可准确测量管路(4)内流动的流体流量。