公开(公告)号：CN105917022A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201580004891.0

申请日：2015-05-20

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 柴尾正则 ,  寺村享祐 ,  武内朋哉

IPC: C23C14/34 ,  B24B5/22 ,  C04B35/00 ,  C04B35/453 ,  C04B41/91 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

CPC classification number: B24B5/22 ,  C04B35/00 ,  C04B35/453 ,  C04B41/91 ,  C23C14/34 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明涉及的溅射靶用靶材的制造方法包括：在全长为500mm以上的筒状陶瓷的中空部中，将三个以上的支承爪插入至该筒状陶瓷的全长的10％以上的深度的工序；使三个以上的支承爪分别与筒状陶瓷的内周面抵接，来支承筒状陶瓷的工序；以及使由三个以上的支承爪支承的筒状陶瓷沿筒状陶瓷的周向旋转，来加工筒状陶瓷的外周面的工序。三个以上的支承爪由硬质橡胶包覆。

公开(公告)号：CN107208258A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201580074869.3

申请日：2015-12-21

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 寺村享祐 ,  柴尾正则 ,  武内朋哉

IPC: C23C14/34 ,  B24B37/27

Abstract: 本发明课题在于抑制圆筒形陶瓷的外周面损伤或破裂的产生。为了解决该课题，一种具体实施方式的加工辅助具(31、131)具备旋转体(34、134)。旋转体(34、134)随着圆筒形陶瓷(10)的旋转而旋转。旋转体(34、134)的旋转轴方向的长度为15mm以上，并且旋转体(34、134)的至少外周部(39、139)的材质，为洛氏硬度80以上125以下的树脂、或是橡胶硬度80以上95以下的橡胶。

公开(公告)号：CN107208258B

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201580074869.3

申请日：2015-12-21

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 寺村享祐 ,  柴尾正则 ,  武内朋哉

IPC: C23C14/34 ,  B24B37/27

Abstract: 本发明课题在于抑制圆筒形陶瓷的外周面损伤或破裂的产生。为了解决该课题，一种具体实施方式的加工辅助具具备旋转体。旋转体随着圆筒形陶瓷的旋转而旋转。旋转体的旋转轴方向的长度为15mm以上，并且旋转体的至少外周部的材质，为洛氏硬度80以上125以下的树脂、或是橡胶硬度80以上95以下的橡胶。