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公开(公告)号:CN205786426U
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201620029317.2
申请日:2016-01-13
IPC分类号: G01N27/00
摘要: 本实用新型涉及一种用于半导体气敏传感器的老化装置,包括供气装置和用于控制气体流量的阻尼管,所述的阻尼管一端为进气口,进气口与供气装置连接,另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口,通过调节阻尼管控制气体流量,而相比传统的由控制压力控制器、稳压阀和电子压力表组成的气体流量控制装置,所用的阻尼管结构简单、造价低,使用方便,解决了半导体气敏传感器老化装置中气体流量控制设备结构复杂、造价高的问题。