公开(公告)号：CN1114935C

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：CN98805166.4

申请日：1998-05-14

Applicant: 莱卡微系统石版印刷有限公司

Inventor： 张涛

IPC: H01J29/84 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J2237/3175

Abstract: 一种孔眼部件(10)，包括设有用于电子束(E)的通道(12)的本体(11)和用于阻挡除穿过通道外的部分或全部电子束行进的阻挡面(15)。阻挡面(15)呈斜角，使由被阻挡的电子束或其一部分电子束产生的脱离电子偏离通道的轴(13)射出，尤其是射入由表面(15)和屏蔽部件(17)的壁限定的电子俘获空腔(21)中。壁将电子返回阻挡面(15)，再反方向返回俘获空腔(21)，因此，防止散射电子的逃脱或延迟其逃脱，直至产生充分的吸收，将其大量无损害地提供给装备该部件的电子束柱的内部环境。

公开(公告)号：CN1271461A

公开(公告)日：2000-10-25

申请号：CN98807852.X

申请日：1998-07-15

Applicant: 莱卡微系统石版印刷有限公司

Inventor： D·M·P·金 ,  B·J·胡赫斯

IPC: H01J37/317

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/30494 ,  H01J2237/31769

Abstract: 一种通过电子束在衬底(13)表面上写图形如在抗蚀剂涂敷的晶片上写电路的方法,包括以下步骤:将衬底表面暴露到电子束(12),通过表面上束的聚焦点的步进移动,可控地逐渐绘制图形,在连续步进移动期间,例如通过将偏转板(17)偏转到消除元件(16)和从消除元件(16)上移回,选择性地调节束,从而改变束对表面的曝光,以减小表面上束点的预定位置中的电子剂量。

公开(公告)号：CN1130753C

公开(公告)日：2003-12-10

申请号：CN98807852.X

申请日：1998-07-15

Applicant: 莱卡微系统石版印刷有限公司

Inventor： D·M·P·金 ,  B·J·胡赫斯

IPC: H01J37/317

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/30494 ,  H01J2237/31769

Abstract: 一种通过电子束在衬底(13)表面上写图形如在抗蚀剂涂敷的晶片上写电路的方法，包括以下步骤：将衬底表面暴露到电子束(12)，通过表面上束的聚焦点的步进移动，可控地逐渐绘制图形，在连续步进移动期间，例如通过将偏转板(17)偏转到消除元件(16)和从消除元件(16)上移回，选择性地调节束，从而改变束对表面的曝光，以减小表面上束点的预定位置中的电子剂量。

公开(公告)号：CN1256788A

公开(公告)日：2000-06-14

申请号：CN98805166.4

申请日：1998-05-14

Applicant: 莱卡微系统石版印刷有限公司

Inventor： 张涛

IPC: H01J29/84

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J2237/3175

Abstract: 一种孔眼部件(10),包括设有用于电子束(E)的通道(12)的本体(11)和用于阻挡除穿过通道外的部分或全部电子束行进的阻挡面(15)。阻挡面(15)呈斜角,使由被阻挡的电子束或其一部分电子束产生的脱离电子偏离通道的轴(13)射出,尤其是射入由表面(15)和屏蔽部件(17)的壁限定的电子俘获空腔(21)中。壁将电子返回阻挡面(15),再反方向返回俘获空腔(21),因此,防止散射电子的逃脱或延迟其逃脱。直至产生充分的吸收,将其大量无损害地提供给装备该部件的电子束柱的内部环境。