公开(公告)号：CN1247605A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：CN98802455.1

申请日：1998-02-11

Applicant: 工程测量公司

Inventor： 查尔斯·E·米勒 ,  杰里·C·怀斯 ,  小理查德·B·巴尔斯利 ,  路易斯·T·优希达 ,  迈克尔·斯坦巴克

IPC: G05D7/06 ,  F16K31/02

CPC classification number: F16K31/004 ,  F16K31/006 ,  G05D7/0694 ,  H01L41/094 ,  Y10T137/0491 ,  Y10T137/5987 ,  Y10T137/7761

Abstract: 一种微质量流量控制器10,包括一具有一振动阀26的声波抑制节流器28,该振动阀以时间调制顺序反复打开和关闭该节流器28,从而在一时段中把该声波抑制节流器28中的气体的质量流量设定在没有气流与最大质量流率之间。在一双压电晶片压电致动器40上阴极真空喷镀介电层78后用不锈钢或其他金属镀层80包住。该致动器40上有一盖件46,通过驱动该致动器40把在一湿粘合剂86中的该盖件46推靠到一阀座70,使该盖件与该阀座70重合,直到该粘合剂86固化。

公开(公告)号：CN1158585C

公开(公告)日：2004-07-21

申请号：CN98802455.1

申请日：1998-02-11

Applicant: 工程测量公司

Inventor： 查尔斯·E·米勒 ,  杰里·C·怀斯 ,  小理查德·B·巴尔斯利 ,  路易斯·T·优希达 ,  迈克尔·斯坦巴克

IPC: G05D7/06 ,  F16K31/02

CPC classification number: F16K31/004 ,  F16K31/006 ,  G05D7/0694 ,  H01L41/094 ,  Y10T137/0491 ,  Y10T137/5987 ,  Y10T137/7761

Abstract: 一种微质量流量控制器10，包括一具有一振动阀26的声波抑制节流器28，该振动阀以时间调制顺序反复打开和关闭该节流器28，从而在一时段中把该声波抑制节流器28中的气体的质量流量设定在没有气流与最大质量流率之间。在一双压电晶片压电致动器40上阴极真空喷镀介电层78后用不锈钢或其他金属镀层80包住。该致动器40上有一盖件46，通过驱动该致动器40把在一湿粘合剂86中的该盖件46推靠到一阀座70，使该盖件与该阀座70重合，直到该粘合剂86固化。