公开(公告)号：CN100585464C

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200510082397.4

申请日：2005-06-27

Applicant: NTN株式会社 ,  奥普德旺株式会社

Inventor： 猿田正弘 ,  斋藤馨

IPC: G02F1/1335 ,  G02B5/20

Abstract: 一种可以短时间对微小图案的缺陷进行修正、装置价格低廉、装置设置面积小且修正质量好的微小图案修正装置。该微小图案修正装置具备：包括照射激光束以除去黑色缺陷的激光装置(1)、对缺陷进行观察的观察光学系统(2)、涂布墨水以修正缺色缺陷的墨水涂布单元(3)及对突起缺陷进行研磨、修正的带研磨单元(5)在内的修正头部(6)；用于修正头部(6)定位的XYZ台(7)～(9)，搭载被修正玻璃基板(10)的玻璃平台(11)。因而，可以1台装置对缺色缺陷、黑色缺陷及突起缺陷进行修正。

公开(公告)号：CN1716043A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510082397.4

申请日：2005-06-27

Applicant: NTN株式会社 ,  奥普德旺株式会社

Inventor： 猿田正弘 ,  斋藤馨

IPC: G02F1/1335 ,  G02B5/20

Abstract: 一种可以短时间对微小图案的缺陷进行修正、装置价格低廉、装置设置面积小且修正质量好的微小图案修正装置。该微小图案修正装置具备：包括照射激光束以除去黑色缺陷的激光装置(1)、对缺陷进行观察的观察光学系统(2)、涂布墨水以修正缺色缺陷的墨水涂布单元(3)及对突起缺陷进行研磨、修正的带研磨单元(5)在内的修正头部(6)；用于修正头部(6)定位的XYZ台(7)～(9)，搭载被修正玻璃基板(10)的玻璃平台(11)。因而，可以1台装置对缺色缺陷、黑色缺陷及突起缺陷进行修正。