电解用电极及使用该电解用电极的氢氧化季铵水溶液的制造方法

    公开(公告)号:CN101027430A

    公开(公告)日:2007-08-29

    申请号:CN200580031217.8

    申请日:2005-09-08

    CPC classification number: C22C13/00 C25B1/00 C25B11/0478 C25B11/0484

    Abstract: 提供在以阳离子交换膜作为隔膜的电解槽中电解季铵的无机酸盐而制造高纯度的氢氧化季铵方面,耐腐蚀性以及耐久性优异、可长期使用、而且可降低电力消耗量、可工业上不增加成本地制造高纯度的氢氧化季铵的电解用电极。是在用阳离子交换膜作为隔膜的电解槽中电解季铵的无机酸盐而制造氢氧化季铵时使用的电解用电极,其特征在于,由导电性金属制成的电极基体被包含有电极活性物质的电极活性层被覆,在该电极基体和电极活性层之间设有中间层,所述中间层包含选自In、Ir、Ta、Ti、Ru以及Nb的至少1种金属的氧化物和Sn的氧化物的混合氧化物。

    酸性废气的处理方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1121439A

    公开(公告)日:1996-05-01

    申请号:CN95105511.9

    申请日:1995-05-26

    CPC classification number: B01D53/1493 B01D53/68

    Abstract: 本发明提供了一种酸性废气的处理方法,该方法为在使废气与碱性的气体处理液接触,分离除去该废气中的酸性成分的酸性废气的处理方法中,使酸性废气与由季铵化合物的水溶液组成的气体处理液接触,从该酸性废气中分离除去酸性成分,该方法可以在不污染周围环境的清洁条件下容易而有效地处理含有酸性成分,特别是氟和氟化物的酸性废气,因此,它也可以在半导体工艺中的净室内实施,特别适用于处理半导体制造工艺中产生的含有氟和/或氟化物的酸性废气。

    胶体二氧化硅及其制造方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119173476A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202380039275.3

    申请日:2023-04-28

    Abstract: 提供微粒减少的胶体二氧化硅及其制造方法。胶体二氧化硅,其中,基于由使用电子显微镜的图像解析得到的当量圆直径(Heywood径),具有粒径中间值的50%以下的粒径的微粒的个数分布比例为1%以下。另外,胶体二氧化硅的制造方法,其为制造该胶体二氧化硅的方法,是将易水解性有机硅酸酯供给于包含含有选自有机胺类中的1种或2种以上的混合物的水解催化剂的反应液并使其反应的方法,其中,在使易水解性有机硅酸酯的供给口浸渍在反应液面内的状态下进行供给。

    分散稳定性良好的研磨剂浆体及基板的制造方法

    公开(公告)号:CN1550537A

    公开(公告)日:2004-12-01

    申请号:CN200410005562.1

    申请日:2004-02-18

    CPC classification number: C09K3/1463 C03C19/00 C09G1/02 C09K3/1409

    Abstract: 一种分散稳定性优良的研磨剂浆体,包含:由一种或两种以上的氧化物构成的研磨微粒、为胶状氧化物具有比上述研磨微粒小的平均粒径的胶态微粒、使这些研磨微粒和胶态微粒分散的分散介质,以及,一种基板制造方法,包含采用这样的研磨剂浆体对无机质基板进行研磨的研磨工序。本发明的研磨剂浆体,在长时间内分散稳定性良好,另外,再分散性良好,可以尽可能地消除沉淀、凝聚问题,而且,可以在完全不采用有机类分散剂的分散剂浆体中使用,特别地,可以在工业上有利地利用CMP制造在半导体制造工艺中使用的硅基板和在静电卡盘制造工序中使用的铝基板等基板。

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