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公开(公告)号：CN118920259A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410971705.1
申请日：2024-07-19
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司
摘要： 本说明书公开了一种多模式激光器，涉及激光器技术领域。多模式激光器包括偏振件、n组激光装置以及m个反射透射装置。激光装置能输出包括第一激光和第二激光的子激光，且第一激光与第二激光的偏振方向互相平行。反射透射装置能将未照射至该偏振件的子激光，偏转至能照射偏振件。偏振件、n组激光装置及m个反射透射装置的位置相适应，使n束子激光经由偏振件后，合束为目标激光。且偏振件能将n束子激光中的部分第一激光及第二激光偏转，使被偏转的第一激光及第二激光不能合束为该目标激光。可见，该多模式激光器能够将多束激光进行合束，且能实现对多束激光的选择性合束，具有多种输出模式，能满足多种使用场景下的使用需求。
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公开(公告)号：CN118465306B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410917058.6
申请日：2024-07-10
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于光电感应的流速计及激光冷却系统，前述流速计壳体中封装有涡轮扇叶、光信号发射模块、光信号接收模块、信息处理模块和传动模块，在壳体中设有液流通道，涡轮扇叶连接在壳体内壁上，并能能够跟随液体的流动而旋转，光信号发射模块和接收模块能够分别发生和接收光信号，传动模块的一端与涡轮扇叶转动连接，另一端能够在涡轮扇叶转动时屏蔽或不屏蔽光信号，当传动模块移动至光信号发射模块和光信号接收模块之间时，光信号接收模块所产生的电信号为低电平，当传动模块处于其他位置时，光信号接收模块所接收到的电信号为高电平，信号处理模块基于电平变化记录脉冲产生的次数，进而计算液体的流速。
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公开(公告)号：CN118502321A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410917037.4
申请日：2024-07-10
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司
IPC分类号： G05B19/042 , H01S3/10
摘要： 本说明书公开了一种激光器的同步时序输出方法及应用于激光器的微控制单元，涉及激光技术领域。应用该方法的MCU可接收触发信号，并在确定触发信号从低电平变为高电平的任何时刻，重置并启动其自身的多路时序输出通道分别对应的定时器。通过多路时序输出通道输出多路时序信号，再分别针对每路时序输出通道，判断其对应的定时器的计数值是否与寄存器存储的延时预设值或脉宽预设值相等，若是，则将该时序信号在低电平与高电平之间跳变。可见，该方法仅需MCU执行，成本及资源占用率较低。且对触发信号响应速度快，输出的多路时序信号还是由相互同步的定时器进行计数的，使得多路时序信号能按照预设逻辑输出，提高稳定性。
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公开(公告)号：CN118472768A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410917026.6
申请日：2024-07-10
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司
摘要： 本说明书公开了一种激光器时序同步装置、方法、介质、程序及激光器，涉及激光技术领域。该装置中，放大器能将源自激光种子源且经由光接收元件的放大脉冲信号，输出至FPGA的全局时钟引脚，FPGA能将其作为自身的时钟信号。操作终端与FPGA连接，能响应于用户的操作向FPGA发送选单指令。FPGA能响应于该选单指令，重置所有时钟的计数器，再按预设逻辑对放大脉冲信号进行选单，确定并将选单脉冲发送至与之连接的目标设备。可见，该时序同步装置直接将放大脉冲信号作为FPGA计数器的计数基准，且能在接收到用户的选单指令后，重置所有时钟的计数器，减少了时钟抖动对选单的影响，提高了激光输出的稳定性。
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公开(公告)号：CN118472762A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410917033.6
申请日：2024-07-10
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司
摘要： 本说明书公开了一种多模式输出激光器、激光发射器及流速测量的方法，涉及激光器技术领域。在多模式输出激光器中，光纤种子源能够输出不同频率的初始激光。再生放大器能够对初始激光进行放大，得到放大激光。分光装置能够基于放大激光的频率，将放大激光分为高频激光以及低频激光，高频激光经过高频处理模块的放大和/或倍频处理后，成为高重频激光，并输出；低频激光经过低频处理模块的放大和/或倍频处理后，成为低重频激光，并输出。可见，该多模式输出激光器不仅能够输出高重频激光，还能输出低重频激光，实现了在一台激光器中同时输出高重频激光以及低重频激光，降低了成本。
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公开(公告)号：CN118472754A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410917054.8
申请日：2024-07-10
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司
IPC分类号： H01S3/04 , H01S3/042 , H01S3/094 , H01S3/0941
摘要： 本申请公开了一种端面泵浦长脉宽紫外激光器，属于激光器领域，包括：半导体激光器、耦合系统、激光谐振腔、激光晶体、调Q器件、二倍频晶体、三倍频晶体；半导体激光器发射泵浦光通过耦合系统耦合进入激光晶体，激发激光晶体发射基频光；基频光在激光谐振腔内振荡，通过调Q器件调制成重复频率的巨脉冲激光；巨脉冲激光中的部分激光通过二倍频晶体倍频为绿光；绿光与巨脉冲激光剩余部分通过双波长反射镜反射进入三倍频晶体后三倍频变换产生紫外激光，三倍频晶体的布儒斯特面将三波长激光分开，绿光、紫外激光从激光谐振腔中输出。激光器解决现有侧面泵浦长脉宽紫外激光器激光晶体通光截面尺寸限制问题，获得高功率高重频长脉宽紫外激光输出。
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公开(公告)号：CN118455756A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410917030.2
申请日：2024-07-10
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/064 , B23K26/14
摘要： 本发明涉及一种晶圆标记系统及标记方法，其中标记系统包括激光器、扩束镜、反光镜组件、可变圆形光阑、振镜、场镜和XYZ轴移动装置；激光器用于发出激光光束；扩束镜、反光镜组件、可变圆形光阑、振镜和场镜沿激光光束传播方向依次设置；扩束镜与激光光束准直设置；反光镜组件用于调整激光光束传播方向，并使得激光光束垂直入射至振镜的通光孔中心；振镜安装于XYZ轴移动装置，并能够在XYZ轴移动装置带动下移动，振镜用于将激光光束调整至垂直于XYZ轴移动装置的XY平台；可变圆形光阑安装于振镜的入射口；场镜安装于振镜的出射口，能够在XYZ轴移动装置带动下移动至与设置在XY平台上的待加工晶圆的距离等于场镜的焦距。
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公开(公告)号：CN117673880B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410133827.3
申请日：2024-01-31
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司 , 西安卓镭激光技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种双路能量放大的纳秒脉冲激光器，包括：振荡器，振荡器用以出射激光；分光元件，分光元件设于振荡器出光路的一侧，能够将激光分成双路脉冲光束；振荡器与分光元件之间依次排列设有第一隔离器，预放大器，第二隔离器；双路放大系统，双路放大系统对称排布，并对应设置于分光元件出射的双路脉冲光束一侧，能够将双路脉冲光束能量进行放大；放大系统包括依次排列设置一级放大器、二级放大器、第三隔离器、三级放大器、四级放大器、第四隔离器；合束偏振片，合束偏振片设于双路放大系统出光一侧，能够将放大后的双路脉冲光束进行合束，得到能量累加的合束激光束；光束整形器，设置在偏振片的出光路上，相比现有方案能够实现激光以更大能量输出。
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公开(公告)号：CN117673880A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410133827.3
申请日：2024-01-31
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司 , 西安卓镭激光技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种双路能量放大的纳秒脉冲激光器，包括：振荡器，振荡器用以出射激光；分光元件，分光元件设于振荡器出光路的一侧，能够将激光分成双路脉冲光束；振荡器与分光元件之间依次排列设有第一隔离器，预放大器，第二隔离器；双路放大系统，双路放大系统对称排布，并对应设置于分光元件出射的双路脉冲光束一侧，能够将双路脉冲光束能量进行放大；放大系统包括依次排列设置一级放大器、二级放大器、第三隔离器、三级放大器、四级放大器、第四隔离器；合束偏振片，合束偏振片设于双路放大系统出光一侧，能够将放大后的双路脉冲光束进行合束，得到能量累加的合束激光束；光束整形器，设置在偏振片的出光路上，相比现有方案能够实现激光以更大能量输出。
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公开(公告)号：CN116722429B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202311002064.0
申请日：2023-08-10
申请人： 北京卓镭激光技术有限公司 , 西安卓镭激光技术有限公司 , 深圳卓镭激光技术有限公司
IPC分类号： H01S3/081 , H01S3/0933
摘要： 本发明涉及一种高光束质量的长脉宽绿光激光器，包括：半导体激光器、耦合透镜组、第一基频光反射镜、调Q器件、第二基频光反射镜、激光晶体、补偿透镜、分色镜、倍频晶体以及双波长反射镜；所述第一基频光反射镜、第二基频光反射镜、补偿透镜、分色镜以及所述双波长反射镜构成产生基频光振荡的谐振腔，所述半导体激光器出射的激光脉冲，经由所述谐振腔后由所述分色镜输出绿色光束。本发明通过第二基频光反射镜和补偿透镜组合使用，补偿激光晶体热效应增加腔内基频光基模体积，同时采用的分色镜，可变换曲率和腔内位置改变腔长，以增加脉宽，压缩倍频晶体处基频光光斑，提高绿光转换效率。
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