公开(公告)号：CN119805700A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202510151910.8

申请日：2025-02-12

Applicant: 北京中科慧仪科技有限公司

Inventor： 袁智超 ,  吴佳 ,  李建权

IPC: G02B7/09 ,  G02B21/24 ,  G02B21/34 ,  G02B21/02 ,  G02B21/18 ,  G02B21/06 ,  G02B27/09 ,  G02B27/30 ,  G02B7/02 ,  G01N21/01

Abstract: 本申请公开了一种自动对焦光学系统及具有其的视觉检测设备，涉及光学检测技术领域。该系统包括对焦模组，对焦模组包括光源、准直单元和扩束单元，准直单元用于将光源发出的高斯光束准直为平顶光束，扩束单元包括沿平顶光束出射方向依次分布的微透镜阵列和凸透镜，且凸透镜的入光侧设有遮挡片，微透镜阵列的前表面用于将平顶光束分割成多个子光束，微透镜阵列的后表面用于将经过聚焦的子光束相互叠加形成匀化光束，凸透镜用于将匀化光束扩展为平行光束；检测模组，检测模组包括载物台和成像单元，载物台用于承载待测样品，成像单元用于通过待测样品反射的平行光束进行成像和对焦。采用本申请系统能够显著提高线光斑的均匀性，并消除毛边和噪声。

公开(公告)号：CN119937146A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510356884.2

申请日：2025-03-25

Applicant: 北京中科慧仪科技有限公司

Inventor： 袁智超 ,  李建权

IPC: G02B21/24 ,  G02B21/36

Abstract: 本申请公开了一种用于半导体检测的自动对焦模组、设备及自动对焦方法，涉及半导体检测技术领域。该自动对焦模组包括激光发射器、光学整形元件、处理器、图像传感器和步进电机，处理器分别连接图像传感器的输出端及步进电机的输入端，步进电机的输出端连接显微镜；处理器可以接收图像传感器采集的当前激光线图像，当前激光线图像通过待测晶圆片表面反射的细条状激光线所形成，并根据当前激光线图像与预标定激光线图像的差异比较结果，确定显微镜的当前离焦数据，预标定激光线图像为显微镜处于对焦状态时的图像，以及根据当前离焦数据，控制步进电机将显微镜移动至对焦平面，确保了显微镜的焦平面始终与待测晶圆片表面精确对准，成像清晰。