公开(公告)号：CN1005217B

公开(公告)日：1989-09-20

申请号：CN85102930

申请日：1985-04-13

Applicant: 索尼磁尺株式会社

Inventor： 谷口佳代子 ,  土谷秀树 ,  外山正明

IPC: G01B9/02 ,  G02B11/00 ,  G02B27/44

Abstract: 光学位移测量仪包含一个用作标度尺的可移动的衍射光栅；一个半导体激光器(1)：光检测器(10，11)和能使被上述衍射光栅衍射的两光束互相干涉的装置(2，4，5，6，7)，有了这种装置，就能根据干涉信号的变化检测出上述衍射光栅内的不规则性。激光器的输出具有适当的相干性，能有选择地使具有相同光通路长度的两光束彼此互相干涉。

公开(公告)号：CN85102930A

公开(公告)日：1986-10-08

申请号：CN85102930

申请日：1985-04-13

Applicant: 索尼磁尺株式会社

Inventor： 谷田佳代子 ,  土谷秀树 ,  外山正明

IPC: G01B11/00

Abstract: 光学位移测量仪包含一个用作标度尺的可移动的衍射光栅；一个半导体激光器(1)；光检测器(10，11)和能使被上述衍射光栅衍射的两光束互相干涉的装置(2，4，5，6，7)，有了这种装置，就能根据干涉信号的变化检测出上述衍射光栅内的不规则性。激光器的输出具有适当的相干性，能有选择地使具有相同光通路长度的两光束彼此互相干涉。