Invention Grant
CN1005217B 光学位移测量仪
失效 - 权利终止
- Patent Title: 光学位移测量仪
- Patent Title (English): OPTICAL DETECTOR FOR DISPLACEMENT MEASURING
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Application No.: CN85102930Application Date: 1985-04-13
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Publication No.: CN1005217BPublication Date: 1989-09-20
- Inventor: 谷口佳代子 , 土谷秀树 , 外山正明
- Applicant: 索尼磁尺株式会社
- Applicant Address: 日本东京都品川区西五反田3丁目9番17号东洋大厦
- Assignee: 索尼磁尺株式会社
- Current Assignee: 索尼磁尺株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都品川区西五反田3丁目9番17号东洋大厦
- Agency: 上海专利事务所
- Agent 杨国胜
- Main IPC: G01B9/02
- IPC: G01B9/02 ; G02B11/00 ; G02B27/44
Abstract:
光学位移测量仪包含一个用作标度尺的可移动的衍射光栅；一个半导体激光器(1)：光检测器(10，11)和能使被上述衍射光栅衍射的两光束互相干涉的装置(2，4，5，6，7)，有了这种装置，就能根据干涉信号的变化检测出上述衍射光栅内的不规则性。激光器的输出具有适当的相干性，能有选择地使具有相同光通路长度的两光束彼此互相干涉。
Public/Granted literature
- CN85102930A 光学位移测量仪 Public/Granted day:1986-10-08
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