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公开(公告)号：CN112947000B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202110148440.1
申请日：2013-07-29
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/11 , H01L21/027
Abstract: 本发明的课题是提供抗蚀剂形状良好的EUV抗蚀剂下层膜形成用组合物。作为解决本发明课题的手段，涉及一种EUV光刻用抗蚀剂下层膜形成用组合物，其包含作为硅烷的水解性有机硅烷、其水解物或其水解缩合物，还包含含有烃基的磺酸根离子与#imgabs0#离子的盐。一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，水解性有机硅烷包含选自式(1)：R1aSi(R2)4‑a式(1)和式(2)：〔R3cSi(R4)3‑c〕2Yb式(2)中的至少1种有机硅化合物、其水解物或其水解缩合物。一种半导体装置的制造方法，其包括下述工序：在半导体基板上形成有机下层膜的工序；在该有机下层膜上涂布抗蚀剂下层膜形成用组合物，进行烘烤，形成抗蚀剂下层膜的工序；在上述抗蚀剂下层膜上涂布EUV抗蚀剂用组合物，形成抗蚀剂膜的工序；将上述抗蚀剂膜进行EUV曝光的工序；在曝光后将抗蚀剂膜进行显影，获得抗蚀剂图案的工序。
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公开(公告)号：CN107430355B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201680018377.7
申请日：2016-03-18
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: G03F7/40 , H01L21/027
Abstract: 本申请的课题在于提供一种新的抗蚀剂图案被覆用涂布液。作为解决本发明课题的手段为一种抗蚀剂图案被覆用涂布液，其包含：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物，下述式(2)所示的伯胺、仲胺或叔胺，以及能够溶解上述聚合物和胺的下述式(3)所示的酯。[(式(1)中，R1表示氢原子或甲基，L表示可以具有至少1个取代基的二价的芳香族基团、‑C(＝O)‑O‑基或‑C(＝O)‑NH‑基，X表示氢原子、或者碳原子数1～10的直链状或支链状的烷基或烷氧基，该烷基中的至少1个氢原子可以被卤原子或羟基取代。)(式(2)中，R2、R3和R4各自独立地表示氢原子、羟基、或者碳原子数1～16的直链状、支链状或环状的有机基团。)(式(3)中，R5和R6各自独立地表示碳原子数1～16的直链状或支链状的有机基团。)]。
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公开(公告)号：CN110698331B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN201910993087.X
申请日：2014-06-24
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: C07C43/178
Abstract: 本发明提供一种升华物的产生少，涂布于具有孔图案的基板时埋入性良好，具有高干蚀刻耐性、摆动耐性、耐热性等的光刻工序所使用的抗蚀剂下层膜，以及使用了该抗蚀剂下层膜的半导体装置的制造方法。作为解决本发明课题的方法为一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，其包含树脂、以及下述式(1)或式(2)：(式中，Q1表示单键或m1价的有机基团，R1和R4分别表示碳原子数2～10的烷基、或具有碳原子数1～10的烷氧基的碳原子数2～10的烷基，R2和R5分别表示氢原子或甲基，R3和R6分别表示碳原子数1～10的烷基或碳原子数6～40的芳基。)所示的交联性化合物。
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公开(公告)号：CN107616168B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201710558871.9
申请日：2017-07-11
Applicant: 日产化学工业株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供一种水性悬浮状农药组合物，其含有(Z)‑4‑[5‑(3,5‑二氯苯基)‑5‑三氟甲基‑4,5‑二氢异唑‑3‑基]‑N‑(甲氧基亚氨基甲基)‑2‑甲基苯甲酰胺、增稠剂、表面活性剂以及水，其在保存中的均匀稳定性优异，同时从保存容器中的排出性优异。本发明的解决方法是含有(a)(Z)‑4‑[5‑(3,5‑二氯苯基)‑5‑三氟甲基‑4,5‑二氢异唑‑3‑基]‑N‑(甲氧基亚氨基甲基)‑2‑甲基苯甲酰胺、(b)黄原胶、(c)表面活性剂以及(d)水的水性悬浮状农药组合物，该水性悬浮状农药组合物中的黄原胶的含量为0.15～0.65质量％。作为表面活性剂，优选为选自聚氧乙烯苯乙烯基苯基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯嵌段聚合物以及它们的混合物中的1种。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113651335A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110982144.1
申请日：2014-12-11
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: C01B33/18 , C01B33/145
Abstract: 以烷氧基硅烷为原料，满足下述条件(a)～(c)。(a)相对于二氧化硅固体成分，碱金属元素的含量为5ppm以下。(b)相对湿度50％时的吸湿量为0.25mg/m2以下，且由液浸法得到的折射率为1.450～1.460。(c)由采用氮吸附法测定的比表面积换算的平均一次粒径为10～100nm。
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公开(公告)号：CN108700776B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201680082430.X
申请日：2016-12-22
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: G02F1/1337 , C08G73/10 , G02F1/137
Abstract: 提供在不施加物理应力的条件下能得到均等的ULH取向的液晶结构体稳定化膜、即ULH的初始取向良好的液晶结构体稳定化膜。制成使用如下的液晶结构体稳定化膜与胆甾型液晶而得到的ULH模式液晶表示元件，所述液晶结构体稳定化膜使用了通过偏振紫外线照射而表现出各向异性的聚合物。
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公开(公告)号：CN108463517B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201780006461.1
申请日：2017-01-20
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: C09D11/102 , H01L51/46 , H01L51/50
Abstract: 本文描述了一种非水性油墨组合物，其包含具有本文描述的符合式(I)的重复单元的聚噻吩、具有至少一个β‑二酮配体的过渡金属络合物和具有一种或多种有机溶剂的液体载体。本发明还涉及这样的非水性油墨组合物在例如有机电子器件中的用途。
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公开(公告)号：CN113402882A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110782191.1
申请日：2016-02-08
Applicant: 日产化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及剥离层形成用组合物.本发明提供一种层叠体，其为依次层叠基体、剥离层和树脂基板而成的层叠体，所述剥离层与基体的剥离性小于与树脂基板的剥离性，所述剥离层由剥离层形成用组合物形成，所述剥离层形成用组合物包含：使芳香族二胺与芳香族四羧酸二酐反应得到的聚酰胺酸、和有机溶剂，上述芳香族四羧酸二酐包含含有酯键的芳香族四羧酸二酐。其包含：使芳香族二胺与芳香族四羧酸二酐反应得到的聚酰胺酸、和有机溶剂，上述芳香族二胺包含含有醚键的芳香族二胺，和/或上述芳香族四羧酸二酐包含含有醚键的芳香族四羧酸二酐。
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公开(公告)号：CN108635240B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201810436297.4
申请日：2013-06-25
Applicant: 日产化学工业株式会社
IPC: A61K8/04 , A61K8/33 , A61K8/34 , A61K8/64 , A61K9/00 , A61K9/06 , A61K47/42 , A61Q19/00 , B01J13/00
Abstract: 本发明的课题是提供含有作为脂质二肽、脂质三肽等低分子胶凝剂有用的脂质肽型化合物，能够在更低温且更容易地溶解脂质肽型化合物的溶剂的分散液。此外提供能够利用更简便的方法，且在更温和的条件(低温)下形成水凝胶，而且所得的凝胶成为具有高热稳定性的凝胶的分散液和凝胶的形成方法。作为解决本发明课题的方法涉及分散液和使用该分散液的水凝胶的制造方法，所述分散液含有：在包含碳原子数9～23的脂肪族基的脂质部结合有具有氨基酸的重复结合结构的肽部的脂质肽型化合物；选自1,2‑链烷二醇、1,3‑链烷二醇和乙二醇单烷基醚中的至少1种醇或该至少1种醇与水的混合溶液。
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