离子束刻蚀装置和方法、挡板机构及用于加工光栅的装置

    公开(公告)号:CN118263087A

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202410385361.6

    申请日:2024-04-01

    IPC分类号: H01J37/32 G02B5/18

    摘要: 本申请公开了一种离子束刻蚀装置和方法、挡板机构及用于加工光栅的装置,其中离子束刻蚀装置包括离子源、挡板机构和控制机构,挡板机构包括布置在垂直于离子源发射的离子束的平面内的至少一个可变形挡板,每一个可变形挡板包括多个子挡板,多个子挡板各自呈纵长形状,彼此紧密地并排布置,并且设置为能够沿其纵长方向相对于彼此活动从而改变可变形挡板的形状,控制机构配置为在发射离子束的同时控制挡板垂直于第一方向运动,以改变允许离子束穿过挡板机构的区域。根据本发明实施例的离子束刻蚀装置和方法中,采用可变形挡板灵活、便利地改变离子束刻蚀的区域的形状,能够实现具有渐变深度结构的光栅的加工。

    散斑点密度的提升方法及光投射器

    公开(公告)号:CN118192092A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410458734.8

    申请日:2024-04-16

    摘要: 本申请实施例提供了一种散斑密度的提升方法,应用于光投射器,光投射器包括可变焦准直镜头及衍射元件;提升方法包括:确定可变焦准直镜头的目标焦距f,目标焦距f位于可变焦准直镜头的最小焦距fmin与最大焦距fmax之间;根据目标焦距f、最小焦距fmin及最大焦距fmax,获得优化系数m,及根据光栅方程获得衍射元件的设计光栅周期,设计光栅周期包括以下其中一项:横向周期Ph1、纵向周期Pv1;根据优化系数m及设计光栅周期,获得衍射元件的目标光栅周期,优化系数m用于调整衍射元件的设计光栅周期以适配可变焦准直镜头的变焦;基于目标光栅周期,衍射元件对可变焦准直镜头投射的光束进行复制形成衍射图案的目标图。

    衍射光学元件及其设计方法和系统、光投射装置、设备、存储介质

    公开(公告)号:CN117666118A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202211023738.0

    申请日:2022-08-23

    IPC分类号: G02B27/00 G02B27/42

    摘要: 本申请公开一种衍射光学元件及其设计方法和系统、光投射装置、设备、存储介质,该设计方法包括:获取当前循环过程的当前待处理相位分布图;对当前待处理相位分布图进行扰动,以获得扰动相位分布图;对扰动相位分布图进行高斯模糊,获得高斯模糊后的相位分布图;对高斯模糊后的相位分布图进行仿真,判断仿真结果是否满足预设要求;循环执行上述步骤至少一次,直到仿真结果满足预设要求,获得用于加工衍射光学元件的目标相位分布图,其中,目标相位分布图为仿真结果满足预设要求的高斯模糊后的相位分布图,目标相位分布图用于表征衍射光学元件上的微结构的分布。根据本申请的设计方法可以使衍射光学元件在满足其光学性能要求的同时更易于加工。

    承载结构、包装装置、检测方法及包装方法

    公开(公告)号:CN114620280B

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202210424636.3

    申请日:2022-04-21

    IPC分类号: B65B35/58 B65B35/18 B65B57/00

    摘要: 本发明提供一种用于片状结构的承载结构、包装装置、检测方法及包装方法,承载结构中承载部至少具有一个,固定设置于基础部上,且具有朝向基础部的内凹形状,内凹形状与片状结构的形状相匹配。片状结构通过真空吸附的方式保持,并由真空吸附设备施加朝向承载部的正压力,以使片状结构由承载部的内凹形状容纳。凸起部固定设置于承载部的周向,并凸出于基础部,且部分或全部地包围承载部,限制气流沿基础部的平面流动。本发明的实施例利用承载部容纳片状结构,便于进行加工或检测,还能够对真空吸附设备的气流进行限制。第一包装部扣设在承载结构的上方,翻转以对片状结构的两面进行检测后直接与第二包装部配合封装,极大地提高了效率。

    屏幕标定方法、测试方法、屏幕标定装置和测试系统

    公开(公告)号:CN117073984A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311028481.2

    申请日:2023-08-14

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本申请公开了一种屏幕标定方法、测试方法、屏幕标定装置和测试系统,屏幕标定方法包括采用图像采集装置采集标准光源的第一图像,其中标准光源在光源预定位置且被点亮;采用图像采集装置采集屏幕的第二图像,其中屏幕在屏幕预定位置且被位于光源预定位置的标准光源照射,光源预定位置邻近屏幕预定位置;通过对第二图像与第一图像进行图像处理,获得屏幕在各个位置的校准因子,以用于衍射光学元件的测试。根据本申请,经衍射光学元件衍射后的投射光打出的相同光斑,在屏幕的不同位置,获取的像素的灰度值波动尽可能减小,或没有波动。由此,校准后得到的图像能够更精准地反映出衍射光学元件的性能,提高了光效测试指标的结果的准确性和稳定性。

    显示用光波导装置及具有其的显示设备

    公开(公告)号:CN116338856B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310423175.2

    申请日:2023-04-19

    IPC分类号: G02B6/124 G02B6/34 G02B27/01

    摘要: 公开了一种显示用光波导装置和显示设备。该光波导装置的输入部包括第一波导基板和形成在其表面上的第一浮雕光栅,第一浮雕光栅和第一波导基板的折射率n1、n2满足n2<n1,使得预定视场角范围内任一入射角的光束经预定级次的衍射后在离开第一浮雕光栅所在区域前在所述表面上经过的最大平均反射次数为N,N≤2,且当N≤1时,N≤M‑0.25;当1<N≤1.5时,N≤M‑0.5;当1.5<N≤2时,N≤M‑0.75,M为假设第一波导基板与第一浮雕光栅折射率相同情况下的最大平均反射次数。根据本发明,减少了光在光栅所在区域的反射次数,降低反射损失,提高耦入综合效率。

    一字线型激光投射器、相机组件和电子装置

    公开(公告)号:CN115327837B

    公开(公告)日:2023-09-15

    申请号:CN202210977419.7

    申请日:2022-08-15

    发明人: 陈鹏 隋磊

    摘要: 本申请提供一种一字线型激光投射器、相机组件和电子装置。激光投射器包括基板组件、多个激光光源和衍射光学元件。多个激光光源设置在基板组件上,用于发射激光,多个激光光源沿垂直于设定直线方向的方向排列成N行,其中每一行中包括沿设定直线方向排列的多个激光光源。衍射光学元件用于将多个激光光源所发射的激光沿设定直线方向扩散,以形成N×M条沿设定直线方向延伸的一字线型投射图案,其中,N为正整数,M为大于1的正整数,N×M条一字线型投射图案沿垂直于设定直线方向的方向间隔排列。根据本申请,一字线图案的能量分布、数量和沿垂直于设定直线方向的方向的视场角可调节。

    用于图像显示的光学波导装置及具有其的显示设备

    公开(公告)号:CN115793130B

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202211293936.9

    申请日:2022-10-21

    IPC分类号: G02B6/00 G02B27/01

    摘要: 本申请公开了一种用于图像显示的光学波导装置以及显示设备。该光学波导装置包括设置在波导基板上的耦入光栅和耦出光栅,耦出光栅用于将沿输入方向传播到其中的光的至少一部分从波导基板耦出,其具有沿输入方向位于上游的接收端和位于下游的耦出端,接收端分为第一光栅区、第二光栅区和在垂直于输入方向的宽度方向上位于第一和第二接收区之间的空白区。该空白区的设置可以避免该中央部分的光过早地被耦出光栅衍射分光而造成相当一部分光能量不能进入有效耦出区域ec,从而在确保向视窗范围内的有效耦出的情况下减小光能量损失,最大化地提高耦出效率,提升光学波导装置的光效。

    显示用光波导装置及具有其的显示设备

    公开(公告)号:CN116338856A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310423175.2

    申请日:2023-04-19

    IPC分类号: G02B6/124 G02B6/34 G02B27/01

    摘要: 公开了一种显示用光波导装置和显示设备。该光波导装置的输入部包括第一波导基板和形成在其表面上的第一浮雕光栅,第一浮雕光栅和第一波导基板的折射率n1、n2满足n2<n1,使得预定视场角范围内任一入射角的光束经预定级次的衍射后在离开第一浮雕光栅所在区域前在所述表面上经过的最大平均反射次数为N,N≤2,且当N≤1时,N≤M‑0.25;当1<N≤1.5时,N≤M‑0.5;当1.5<N≤2时,N≤M‑0.75,M为假设第一波导基板与第一浮雕光栅折射率相同情况下的最大平均反射次数。根据本发明,减少了光在光栅所在区域的反射次数,降低反射损失,提高耦入综合效率。

    衍射光学元件的设计方法以及分区匀光照明系统

    公开(公告)号:CN113467077B

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN202110691207.8

    申请日:2021-06-22

    发明人: 范真涛 宋昱铭

    IPC分类号: G02B27/00 G02B27/09

    摘要: 本发明提供了一种衍射光学元件的设计方法,包括:S101:确定光源的参数以及所述衍射光学元件的目标光场;S102:根据所述光源的参数,确定所述衍射光学元件上多个第一微结构单元的分布;S103:将所述目标光场划分为多个目标图,所述多个目标图叠加后形成所述目标光场,每个所述第一微结构单元对应其中一个所述目标图;S104:对所述多个目标图分别进行畸变预校正;和S105:根据校正后的所述多个目标图以及所述光源的参数,分别设计对应的所述多个第一微结构单元的相位分布。本发明的实施例采用VCSEL分区光源与衍射光学元件相结合,可投射出清晰、无畸变的大视场角匀光光场;将该衍射光学元件应用于分区匀光照明系统中,为DTOF系统所需的匀光照明提供了技术保障。