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公开(公告)号：CN112574101B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202011588823.2
申请日：2020-12-28
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07D211/94
摘要： 本发明公开了一种聚剂701的制备方法，其步骤为：将四甲基哌啶醇和载体催化剂加入到极性溶液中，然后加入过氧化氢，纯化处理得到阻聚剂701。使用该制备方法。本发明中使用的改性载体催化剂，是固体不溶物，易分离，得到的产物产率高；本发明中使用的改性载体催化剂可重复利用，重复利用3次得到的产率均高于97％。
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公开(公告)号：CN112661769B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202011548669.6
申请日：2020-12-23
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07D493/10 , G03F7/027 , G03F7/004
摘要： 本发明属于光刻胶树脂单体，公开了一种由5‑(羟甲基)‑1,3‑环己二酮合成的树脂单体，树脂单体的结构式如下：其中R1为连接键、烃基或杂烃基，R2为烃基；R3为氢原子、烃基或杂烃基。其制备方法为，5‑(羟甲基)‑1,3‑环己二酮Ⅰ与甲基丙烯酰氯或甲基丙烯酸类化合物经酯化反应得到中间体Ⅱ；所述中间体Ⅱ在酸催化条件下与羟基羧酸类化合物经缩醛反应得到树脂单体Ⅲ。本发明的中半缩醛结构与酯基结构相连，使形成的光刻胶具有良好临界尺寸均一性。
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公开(公告)号：CN109384720B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201811293111.0
申请日：2018-11-01
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07D221/14
摘要： 本发明公开了一种合成6‑(2‑甲氧基乙氧基)‑N‑羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸的方法，其反应方程式为：本发明技术方案具有以下有益效果：通过第二步成醚，虽然有几个明显的杂质(可能是分子间成醚)，但中控主含量可达到70％左右，且最终能获得目标产物。合成产物纯度HPLC≥99％，酸值≤1.0mg/g，水分≤0.10％。
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![由1,6-二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型树脂单体及其制备方法](/CN/2020/1/309/images/202011548655.jpg)
公开(公告)号：CN112794834A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202011548655.4
申请日：2020-12-23
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07D309/10 , G03F7/027 , G03F7/004
摘要： 本发明属于可降解型光刻胶树脂单体，公开了一种由1,6‑二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型树脂单体及其制备方法，树脂单体的结构式如下：其中R为连接键或连接基团。其制备方法为，由1,6‑二噁螺[2.5]辛烷经开环酯化生成树脂单体。本发明的树脂单体包括叔丁基结构和环状多酯结构，能够改善边缘粗糙度，增加对比度，提高分辨率，具有优异的耐刻蚀性和脂溶性溶，且制备方法简单方便。
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公开(公告)号：CN112625022A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011541795.9
申请日：2020-12-23
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07D317/24 , C07D407/14 , G03F7/004
摘要： 本发明公开了一种光刻胶树脂单体，涉及光刻胶领域，其结构式如下所示：其中R1和R2分别独立的为氢、烷烃或者环烷烃；R3为氢或者甲基；n为1～8，m为1～10的整数。与其它类型的树脂单体共聚形成光刻胶树脂，能够增加了曝光区和非曝光区在碱性显影液中的溶解速度差，降低粗糙度，提高灵敏度和分辨率，有利于形成均一性良好的光刻图案，特别适用于正性光刻胶；还可以增加耐刻蚀性能；并且起始原料为天然提取的糖类，原料来源广泛，合成方法简单。
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公开(公告)号：CN112592277A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011541814.8
申请日：2020-12-23
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
摘要： 本发明属于可降解型光刻胶树脂单体，公开了一种由二环己基甲酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法，树脂单体的结构式如下：其中R为烷基或杂烷基。其制备方法为，原料Ⅰ的羟基经保护，得到中间体Ⅱ；原料Ⅰ包括以下结构通式R为烷基或杂烷基；二环己基甲酮在中间体Ⅱ与金属形成的格氏试剂的条件下，经还原得到含有一个羟基的中间体Ⅲ；中间体Ⅲ经脱保护，得到含有两个羟基的中间体Ⅳ；中间体Ⅳ与丙烯酸类化合物经酯化反应，得到树脂单体Ⅴ。本发明的树脂单体包括叔丁基结构和环状多酯结构，能够改善边缘粗糙度，增加对比度，提高分辨率，具有优异的耐刻蚀性和脂溶性溶，且制备方法简单方便。
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公开(公告)号：CN111138405A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911384565.3
申请日：2019-12-28
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07D333/10 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C309/17 , G03F7/004
摘要： 本发明公开了一种由广藿香醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该光酸产生剂的结构通式为：式中，R1为 和 中的一种；R2为烷基、环烷基、杂烷基、杂环烷基、含酯基的烷基和含氟烷基中的一种。该光酸产生剂的合成方法为：将广藿香醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体；将所述中间体与(环己-1,5-二烯基氧基)-三甲基-硅烷、四亚甲基亚砜、三氟乙酸酐进行反应，得到所述磺酸锍盐类光酸产生剂。本发明所采用的原料广藿香醇具有较大分子量，其形成的光酸产生剂也具有较大分子量，可降低光酸产生剂的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率。
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公开(公告)号：CN111138288A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911384563.4
申请日：2019-12-28
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07C69/54 , C07D309/12 , C07D301/14 , C07D303/32 , C07C45/64 , C07C49/493 , C07C67/14 , C07C67/29 , C08F220/28 , C08F220/32 , G03F7/004
摘要： 本发明公开了一种含五元环状β-酮结构的光刻胶树脂单体及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该光刻胶树脂单体的结构通式为： 或式中，R1为甲基或氢；R2、R3分别独立地为氢、烷基、环烷基中的一种；R4为烷基或环烷基；n为不小于1的整数；R’为氢、烷基、环烷基中的一种。该光刻胶树脂单体具有曝光前后溶解度差异大的特点，其能够降低粗糙度，提高灵敏度和分辨率，有利于形成均一性良好的光刻图案。
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公开(公告)号：CN111123645A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911350257.9
申请日：2019-12-24
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： G03F7/004 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C381/12
摘要： 本发明涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种含柏木醇结构的锍鎓盐类化合物及其制备方法、光致酸产生剂及该光致酸产生剂的应用，所述含柏木醇结构的锍鎓盐类化合物包括阴离子和阳离子，所述阴离子与所述阳离子分别具有如下结构：其中R1和R2分别独立地表示烷基、环烷基、杂烷基或杂环烷基，P1、P2和P3分别独立地表示氢原子或者具有1至12个碳原子的任选取代的烷基。本发明制备的光致酸产生剂在具有良好亲水性的同时可提高在有机溶剂中的溶解性，能有效抑制酸的扩散。本发明提供的制备方法通过以含柏木醇结构的磺酸类化合物与卤化锍反应得到含柏木醇结构的含柏木醇结构的锍鎓盐类化合物，其制备方法简单。
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公开(公告)号：CN111116426A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911372620.7
申请日：2019-12-24
申请人： 上海博栋化学科技有限公司
IPC分类号： C07C303/22 , C07C309/06 , C07C381/12 , G03F7/004
摘要： 本发明涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种含广藿香醇结构的锍鎓盐类光致酸产生剂及其制备方法，所述光致酸产生剂包括阴离子和阳离子，所述阴离子与所述阳离子分别具有如下结构：其中R表示烷基、环烷基、杂烷基或杂环烷基，P1、P2和P3分别独立地表示氢原子或者具有1至12个碳原子的任选取代的烷基。本发明制备的光致酸产生剂在具有良好亲水性的同时可以提高在有机溶剂中的溶解性，能有效抑制酸的扩散。本发明还提供了所述含广藿香醇结构的锍鎓盐类光致酸产生剂的制备方法，通过以广藿香醇为反应起始物进反应后再与卤化锍进行反应得到含广藿香醇结构的锍鎓盐类光致酸产生剂，其制备方法简单。
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