一种晶圆盒清洗方法
    81.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109530374B

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN201811392601.6

    申请日:2018-11-21

    IPC分类号: B08B9/46 B08B9/08 B08B3/12

    摘要: 本发明提供了一种晶圆盒清洗方法,所述晶圆盒清洗方法包括以下步骤:(1)使用乙醇溶液涂覆于晶圆盒表面,然后将晶圆盒敞开置于活性剂中浸泡;(2)将步骤(1)浸泡后的晶圆盒使用氢氟酸浸泡;(3)将步骤(2)浸泡后的晶圆盒使用工业清洗液浸泡;(4)将步骤(3)浸泡后的晶圆盒再次使用活性剂浸泡;(5)将步骤(4)浸泡后的晶圆盒装载到清洗装置上清洗、烘干得到洁净的晶圆盒;本发明所提供的清洗方法,使得清洗后的晶圆盒表面没有任何沾污,运输测试后,每片晶圆表面测量颗粒大于0.1μm的颗粒增加值小于5颗,同时每片晶圆表面金属含量小于1E10atoms/cm2,清洗效果显著,洁净效果优良。

    一种基于离心机的试管清洗设备

    公开(公告)号:CN112354995A

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN202011336090.3

    申请日:2020-11-25

    发明人: 刘红亚

    摘要: 本发明公开了一种基于离心机的试管清洗设备,包括箱体,所述箱体内设有布置空间,所述布置空间内设有离心清洗机构,所述离心清洗机构包括固定块,所述固定块固定设在所述布置空间下侧内壁,所述固定块上内嵌设有气缸,所述气缸内设有气腔,所述气腔内滑动设有活塞,所述活塞上端面固定设有离心电机,所述离心电机控制设有电机轴,所述电机轴上固定设有布置板,所述布置板,上左右对称设有两个离心滑轨,本发明可实现试管的自动清理工作,本发明通过滑块摇杆机构对夹持在摇杆上的试管进行倾斜向下,对试管进行注水,在下侧电机的旋转作用下以及缓慢倾斜作用下对试管内壁进行机械震荡清洗。

    一种火箭贮箱表面智能清洗与检测机器人系统及方法

    公开(公告)号:CN110238145B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201910430393.2

    申请日:2019-05-22

    IPC分类号: B08B9/20 B08B9/44 B08B9/46

    摘要: 本发明公开一种火箭贮箱表面智能清洗与检测机器人系统及方法,擦洗头模组中能够放置多个擦洗头,第一可移动智能平台置于高架式轨道上,擦洗贮箱工业机械臂设置于第一可移动智能平台上,第一夹持擦洗头末端执行器与擦洗贮箱工业机械臂连接;擦洗头升降平台设置于高架式轨道的一侧,擦洗头模组设置于擦洗头升降平台上,全自动擦洗头清洗机设置于高架式轨道的另一侧;底部轨道固定设置于高架式轨道的下方,第二可移动智能平台置于底部轨道上并能沿底部轨道移动,清洗擦洗头工业机械臂设置于第二可移动智能平台上,擦洗头工业机械臂连接有第二夹持擦洗头末端执行器。本发明能够实现对火箭贮箱表面清洁度进行检测并能自动进行清洗作业。

    一种注射泵
    85.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107485762B

    公开(公告)日:2020-09-01

    申请号:CN201710799989.0

    申请日:2017-09-07

    摘要: 本发明的目的在于提供一种注射泵,用于解决药液注射技术问题。它包括泵体、注射系统、紧急制动系统和控制系统,所述泵体上设有注射腔和紧急制动腔;所述注射系统包括驱动气压泵、复位气压泵、驱动气压管、复位气压管和活塞,所述活塞可前后移动的安装在所述的注射腔内,活塞将注射腔分隔为气压腔和储液腔;所述的驱动气压管和复位气压管分别与气压腔连通,驱动气压管上设有进气电控阀门,复位气压管上设有出气电控阀门,进气电控阀门和出气电控阀门分别与所述的控制系统电连接。本发明有益效果:噪音小、可靠性和安全性较高。

    一种火箭贮箱表面智能清洗与检测机器人系统及方法

    公开(公告)号:CN110238145A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910430393.2

    申请日:2019-05-22

    IPC分类号: B08B9/20 B08B9/44 B08B9/46

    摘要: 本发明公开一种火箭贮箱表面智能清洗与检测机器人系统及方法,擦洗头模组中能够放置多个擦洗头,第一可移动智能平台置于高架式轨道上,擦洗贮箱工业机械臂设置于第一可移动智能平台上,第一擦洗贮箱末端执行器与擦洗贮箱工业机械臂连接;擦洗头升降平台设置于高架式轨道的一侧,擦洗头模组设置于擦洗头升降平台上,全自动擦洗头清洗机设置于高架式轨道的另一侧;底部轨道固定设置于高架式轨道的下方,第二可移动智能平台置于底部轨道上并能沿底部轨道移动,清洗擦洗头工业机械臂设置于第二可移动智能平台上,擦洗头工业机械臂连接有第二夹持擦洗头末端执行器。本发明能够实现对火箭贮箱表面清洁度进行检测并能自动进行清洗作业。

    电子材料包装容器的清洗及在线式洁净度检测方法

    公开(公告)号:CN109894450A

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201910146546.0

    申请日:2019-02-27

    IPC分类号: B08B9/46 G01N27/10

    摘要: 本发明公开了一种电子材料包装容器的清洗及在线式洁净度检测方法,特征是:提供一组清洗液输入管路和水样输出测试管路,分别具有超纯水进口、氮气进口和清洗液出口,水样出口经电阻率测定仪连接至流量计,待清洗的容器放入超声池中,将上述清洗管路分别连接容器的高口和低口,通过阀门控制先用氮气吹扫,再通过直通管路调节进水流量;超声清洗30~60min,再用超纯水冲洗,冲洗同时进行电阻率检测直至电阻率大于18兆欧,再用超纯水冲洗包装容器1~2倍时间,完成清洗和洁净度检测。本发明创造性地采用电阻率检测来判断容器清洗的结果,解决了现有技术中使用ICP-MS导致的成本、人员要求和非在线的问题;可以更为直观地观察清洗过程、确定清洗结果,从而缩短了清洗时间,使得清洗更加高效。

    一种网箱清污系统
    88.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109794479A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201811527746.2

    申请日:2018-12-13

    IPC分类号: B08B9/08 B08B9/46 A01K61/60

    摘要: 本发明公开了一种网箱清污系统,能够对吸头进行水平控位和垂直控位,并直接利用泵排水吸取,吸污效率高。该清污系统包括网箱浮台、水平控位机构、竖直控位机构、浮动平台、吸头和泵舱;网箱浮台设置在网箱顶部;所述浮动平台设置在所述网箱包裹区域内的水面上,所述水平控位机构用于控制所述浮动平台在水面的位置;所述浮动平台通过竖直控位机构与所述吸头相连,所述竖直控位机构用于控制所述吸头在竖直方向的位置;所述吸头通过管路与设置在所述网箱浮台上的泵舱相连,所述泵舱为水密舱体,其内置有用于吸排舱体内积水的泵,进而在舱体内形成负压,通过所述吸头吸去网箱内污物。

    一种桶型容器自动除渣清洗烘干消毒生产线及其方法

    公开(公告)号:CN108856211A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201810665502.4

    申请日:2018-06-26

    申请人: 马晓明

    发明人: 马晓明

    摘要: 本发明公开一种桶型容器自动除渣清洗烘干消毒生产线,由机架、等候洗涤台、废渣收集漏斗、高压气枪装置、高压水枪装置、洗涤水收集漏斗、喷淋管系统、洁净度检测装置、烘干消毒机构、隔热罩、输送线、换向输送机、桶型容器、转动拨叉、翻到挡板、桶型容器上沿卡槽、位置传感器、温度传感器、防护罩、集水槽、控制器组成。自动完成废渣清除收集、桶型容器洗涤、洗涤水收集、洗涤洁净度检测、烘干消毒的全过程作业。用机械智能作业替代了人工劳动,提高了生产效率。