液滴喷头的液体填充方法
    83.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1221388C

    公开(公告)日:2005-10-05

    申请号:CN03107253.4

    申请日:2003-03-19

    Inventor: 中村真一

    CPC classification number: B41J2/01 B41J2202/09 H01L51/0004 H01L51/56

    Abstract: 本发明提供一种向功能液滴喷出头填充液体的方法,向具有在喷出头主体的喷嘴形成面上设置的喷嘴的功能液滴喷出头的喷出头内流路中填充液体,在使连接了吸引泵的盖子与所述喷嘴形成面紧贴,用通过所述盖子而作用的吸引力把连接在所述功能液滴喷出头上的供液容器的液体填充到所述喷出头内流路中;在向所述喷出头内流路的液体填充过程中,保持基于所述盖子的吸引,暂时关闭所述功能液滴喷出头和所述供液容器之间的供液通路。

    成膜设备和喷头清洁方法以及设备制造系统及设备

    公开(公告)号:CN1445028A

    公开(公告)日:2003-10-01

    申请号:CN03120175.X

    申请日:2003-03-11

    Inventor: 中村真一

    CPC classification number: B41J2/16535 B41J2/16552 B41J3/407 B41J2202/09

    Abstract: 一种在灵活适应所制造产品的规格的变化的同时用于可靠地清洁每一喷头喷嘴表面的系统和方法。成膜设备具有多个用于喷射液滴的喷头,每一个喷嘴表面上具有一个喷嘴;及用于集中清洁喷嘴表面的共用的喷头清洁机构,以便喷头清洁机构基本上不会受到喷头之间间距的变化(或类似特性变化)的影响。通常,喷头清洁机构具有用于擦拭喷嘴表面的拭纸;用于向喷嘴表面提供拭纸的供给单元;及在由供给单元供给拭纸的同时将拭纸压在喷嘴表面上的滚筒,以便总是为每一喷嘴表面提供未使用的清洁面。

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