公开(公告)号：CN102822116A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201180015911.6

申请日：2011-03-18

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 渡边守道 ,  胜田祐司 ,  早濑徹

IPC: C04B35/50 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/683

CPC classification number: C04B35/50 ,  C04B35/44 ,  C04B35/505 ,  C04B35/6262 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9692 ,  H01J2237/334

Abstract: 秤量Yb2O3与SrCO3为摩尔比1:1，调制调合粉末。将该调合粉末单轴加压成形，制作为圆盘状成形体。将成形体在大气气氛中进行热处理，合成复合氧化物。将合成的复合氧化物用研钵粗粉碎，进行湿式粉碎。将粉碎后取出的浆料在氮气流中干燥，制为合成原料粉末。将该合成原料粉末单轴加压成形，制作为圆盘状成形体。将得到的成形体用热压法烧成，得到半导体制造装置用耐腐蚀性构件。该耐腐蚀性构件，由SrYb2O4晶相构成，开孔率为0.1%，NF3腐蚀速率值小于由Y2O3的晶相构成的。

公开(公告)号：CN102639464A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201180004702.1

申请日：2011-10-11

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 渡边守道 ,  神藤明日美 ,  胜田祐司 ,  佐藤洋介 ,  矶田佳范

IPC: C04B35/581 ,  C04B35/04 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67 ,  B32B18/00 ,  C04B35/58 ,  C04B35/581 ,  C04B35/6261 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/645 ,  C04B37/001 ,  C04B37/003 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/08 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/36 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/58 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/708 ,  C04B2237/72 ,  C23C14/3414 ,  H01L21/6831 ,  H05B1/00 ,  H05B3/283 ,  Y10T428/24942

Abstract: 本发明的陶瓷材料以镁、铝、氧及氮为主成分，主相为使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ＝47～50°的镁-铝氮氧化物相。