一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置

    公开(公告)号:CN103230899A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310155809.7

    申请日:2013-04-28

    Abstract: 一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置,它涉及一种用于冲扫激光传输光学组件中颗粒物的进气节流板装置。本发明为了解决现有的激光传输光学组件中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。冲扫进气口法兰连接在进气板的中心位置上,冲扫进气节流板连接在进气板上,冲扫进气口法兰和冲扫进气节流板分列在进气板的两侧,冲扫进气节流板与进气板之间形成冲扫进气室,冲扫进气节流板上开有多个节流孔,节流孔与进气室连通,冲扫进气口法兰的进气口与进气室连通,冲扫进气节流板的厚度为5mm。本发明用于防止冲扫气体形成紊流,保持激光传输光学组件内部的空气洁净度。

    真空密封元件背装式锁紧装置快速拆装方法

    公开(公告)号:CN103197398A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310156654.9

    申请日:2013-04-28

    Abstract: 真空密封元件背装式锁紧装置快速拆装方法,涉及大口径真空密封元件拆装方法,本发明为了解决目前真空隔离的光学元件需要维修或更换时,需动用大型机械设备整体拆卸,费时费力,效率低的问题,本发明由真空隔离组件安装方法和真空隔离组件拆卸方法组成,通过助力升降机将真空隔离组件吊起(或落下),使真空隔离组件沿导向组件进入(或脱离)楔形透镜模块壳体的安装位置,通过不脱出螺钉在线拆装。本发明具有避免了目前将大口径光学聚焦于频率转换系统动用大型机械设备整体拆卸,费时费力,效率不高。实现真空隔离组件的在线快速拆装与锁紧,省时省力,确保光学元件拆装可靠,避免污染,实现闭环拆装。本发明适用于大口径真空密封元件快速拆装。

    3-DOF可快速定位的串并混联镜架机构

    公开(公告)号:CN103018866A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210519869.8

    申请日:2012-12-06

    Abstract: 3-DOF可快速定位的串并混联镜架机构,它涉及一种串并混联镜架机构。本发明为了解决现有的镜架机构串联机构无法完成大行程、高精度的问题。本发明的串并混联镜架机构包括三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)、一条PPS运动链(5)、一个动平台(6)和一个静平台(7),以动平台(6)的几何中心为坐标系的原点,建立笛卡尔坐标系,所述三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)和一条PPS运动链(5)相对于动平台(6)以三面正交支撑的形式连接,三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)完成动平台(6)的多自由度运动,PPS运动链(5)完全支撑动平台(6)的重量。本发明适用于镜架机构中。

    四自由度大行程、快速精确定位的串并混联镜架机构

    公开(公告)号:CN103018865A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210519868.3

    申请日:2012-12-06

    Abstract: 四自由度大行程、快速精确定位的串并混联镜架机构,它涉及一种串并混联镜架机构。本发明为了解决现有的镜架机构串联机构无法完成大行程、高精度的问题。本发明的串并混联镜架机构包括四条PSSP运动链(1)、一条PSS运动链(2)、一条PPS运动链(5)、一个动平台(6)和一个静平台(7),以动平台(6)的几何中心为坐标系的原点,建立笛卡尔坐标系,所述四条PSSP运动链(1)、一条PSS运动链(2)和一条PPS运动链(5)相对于动平台(6)以三面正交支撑的形式连接,四条PSSP运动链(1)、一条PSS运动链(2)完成动平台(6)的多自由度运动,PPS运动链(4)完全支撑动平台的重量。本发明适用于镜架机构中。

    超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法

    公开(公告)号:CN102166725B

    公开(公告)日:2013-03-20

    申请号:CN201110038388.0

    申请日:2011-02-15

    Abstract: 超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法,它涉及一种超声振动辅助磨削方法。本发明为解决现有的超声振动辅助磨削方法加工的微结构表面时振动轨迹会与微结构表面结构发生干涉,从而破坏微结构表面的面型精度的问题。通过超声发生器向振动工作台施加一维超声振动,当磨削平行线性微结构表面时,即V形槽矩阵表面或光栅微结构表面,利用旋转台将一维超声振动台的振动方向调整为与砂轮进给方向平行,控制砂轮颗粒切削方向与砂轮进给方向相反,控制超声发生器的超声振动频率为25~35KHz,超声振动振幅为1~10μm,控制砂轮转速为2000~4000rpm,工件进给速度为0.2~2mm/min。本发明用于超硬微结构表面精密加工。

    五轴联动超精密机床
    86.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102909610A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210429045.1

    申请日:2012-11-01

    Abstract: 五轴联动超精密机床,它涉及一种五轴联动机床。本发明为了解决传统超精密机床存在的功能单一;加工对象形状简单,难以满足复杂微细结构表面和微小元件加工的要求等问题。机床床身上装有X轴导轨和Z轴导轨,X轴导轨上滑动连接有X轴溜板,Z轴导轨上连接有Z轴溜板;X轴溜板上沿竖直方向安装有立柱,立柱的竖直方向滑动连接有Y轴中溜板,Y轴中溜板前固定连接有Y轴前溜板;Y轴前溜板上沿水平方向固定安装有C轴,C轴上安装有真空吸盘,Z轴溜上沿竖直方向安装有B轴;X轴、Y轴、Z轴为液体静压导轨支撑,B轴和C轴采用气体静压支撑,B轴上安装夹具装置及刀具;C轴采用第一光栅和第二光栅来实现双反馈控制。本发明用于加工微细结构表面与微小元件。

    一种超精密机床的垂直运动轴系

    公开(公告)号:CN102909596A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210429004.2

    申请日:2012-11-01

    Abstract: 一种超精密机床的垂直运动轴系,它涉及一种机床的垂直运动轴系。本发明为了解决传统垂直运动轴系难以适用于面向复杂微细结构加工的超精密机床的问题。两个立柱并列设置在X轴溜板上,垂直运动轴中溜板滑动连接在两个立柱之间,垂直运动轴中溜板的前侧安装有垂直运动轴前溜板,后侧安装有垂直运动轴后溜板,气体静压主轴和主轴电机座装在贯穿圆孔内,气体静压主轴的后端与主轴电机座内的主轴电机连接,横梁安装在两个立柱的上端面上,丝杠轴承座装在中心孔上,丝杠轴承座上装有力矩电机,滚珠丝杠的下端与置于横梁下方的丝杠螺母座相连接,滚珠丝杠的上端与力矩电机连接,垂直运动轴中溜板与X轴溜板之间连接有卸荷气缸。本发明用于超精密机床中。

    基于参数化设计的液体静压主轴制作方法

    公开(公告)号:CN102880766A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201210397339.0

    申请日:2012-10-18

    Abstract: 基于参数化设计的液体静压主轴制作方法,属于液体静压主轴技术领域。它解决了现有液体静压主轴制作效率低,并且其计算过程中对主轴切削稳定性的预测与实际结果相差较大的问题。首先建立液体静压主轴的参数化有限元模型;预设置液体静压主轴的结构参数的初始值;对液体静压主轴的静压轴承承载特性进行数值模拟,获得液体静压主轴静压轴承的轴承刚度矩阵及轴承温升;计算获得液体静压主轴的动态参数和具有涡动效应的主轴动态特性;再得到主轴的临界切削厚度;当上述结果满足主轴制作要求,则通过人机交互界面输出上述数据,实现液体静压主轴的制作。本发明用于制作液体静压主轴。

    拼接光栅的高精密位姿调整装置

    公开(公告)号:CN102156340A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201110080207.0

    申请日:2011-03-31

    Abstract: 拼接光栅的高精密位姿调整装置,它涉及一种光栅组高精密位姿调整装置。以解决高精度光栅姿态调整装置无法实现多自由度光栅精密调整问题。俯仰调整单元由俯仰调整微驱动器驱动,带动俯仰调整右导轨滑块在相应的导轨上滑动,实现方向光栅独立调整;偏摆调整单元由偏摆调整微驱动器驱动,带动偏摆调整框架及前、后侧偏摆导轨滑块在相应的导轨上滑动,实现方向光栅独立调整;面内调整单元由面内调整微驱动器驱动,带动面内调整前、后侧导轨滑块在相应的导轨上滑动,实现光栅独立调整;直线调整单元由直线调整微驱动器驱动,带动带动直线调整框架及左、右直线导轨滑块在相应的导轨上滑动,实现方向光栅独立调整。本发明用于拼接后光栅组高精度位姿调整。

    小直径金属基金刚石球头砂轮的修整方法

    公开(公告)号:CN101623848A

    公开(公告)日:2010-01-13

    申请号:CN200910305078.3

    申请日:2009-07-31

    Abstract: 小直径金属基金刚石球头砂轮的修整方法,它涉及一种球头砂轮的修整方法。本发明的目的是提高小直径金属基金刚石球头砂轮修整后的面形精度及磨粒的等高一致性以及在保证砂轮面形精度的同时兼顾砂轮修整效率。本发明的主要技术核心点为:在粗修过程中使用脉冲电源的相关参数组合为:脉冲电压90V、脉冲电流6.6A、脉冲频率60kHz、占空比为50%,电极进给速率在0.3~1μm/s之间由快到慢逐渐调整;精修时的修整电源最优参数组合为脉冲电压60V、脉冲电流3.3A、脉冲频率80kHz、占空比25%,此时电极匀速进给,进给速率为0.1~0.2μm/s;采用本方法获得的小直径球头金刚石砂轮面形精度可优于0.8μm,完全可以满足小型复杂曲面零件超精密磨削加工系统对砂轮的高效精密修整要求。

Patent Agency Ranking