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公开(公告)号：CN104583874A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043800.5
申请日：2013-03-13
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F9/00 , G03F7/24 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/24
Abstract: 设有：基材，包括将被实施光学处理的具有透过性的挠性衬底在以规定的曲率弯曲的状态下或是平坦的状态下支承的面；和膜体，形成在该基材的表面上，且相对于在光学处理中所使用的光(曝光用的紫外线、对准用的可视光等)的反射率为50％以下。
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