氮化镓自立基板、发光元件及它们的制造方法

    公开(公告)号:CN105658849A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201580001462.8

    申请日:2015-06-25

    CPC classification number: C30B29/38 H01L33/02

    Abstract: 本发明提供一种氮化镓自立基板,由在大致法线方向具有单晶结构的板形成,所述板由多个氮化镓系单晶粒子构成。该氮化镓自立基板可以通过包含如下工序的方法制造:准备取向多晶烧结体,在取向多晶烧结体上形成包含氮化镓的晶种层,形成的晶种层的晶体取向与取向多晶烧结体的晶体取向基本一致,在晶种层上,形成厚度20μm以上的由氮化镓系结晶构成的层,形成的由氮化镓系结晶构成的层的晶体取向与晶种层的晶体取向基本一致,除去取向多晶烧结体,得到氮化镓自立基板。根据本发明,能够提供廉价且适合大面积化、作为氮化镓单晶基板的替代材料有用的氮化镓自立基板。

    压电/电致伸缩器件
    76.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1780010B

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN200510116917.9

    申请日:2005-10-25

    CPC classification number: H01L41/098 H01L41/187

    Abstract: 提供一种压电/电致伸缩器件,可以有效防止薄壁膜片部的振动的衰减,维持高变位,同时应答性好且可进行高精度(高分辨率、高灵敏度)的检测,其具有:具有厚壁部11和薄壁膜片部12的陶瓷基体1;和具有包含下部电极21、压电/电致伸缩膜22和上部电极23的分层结构的压电/电致伸缩元件2;并构成为与压电/电致伸缩元件2的驱动联动,陶瓷基体1的薄壁膜片部12振动;另外,构成为满足下述(A)~(C)规定的形状和尺寸关系:(A)薄壁膜片部的形状,是朝外方凸出的拱形,且拱形的朝外方的凸出量是5~50μm;(B)薄壁膜片部的架设宽度是600~2000μm;(C)所述厚壁部的高度对宽度之比(高度/宽度)是0.25~3。

    电子发射元件
    77.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1879184A

    公开(公告)日:2006-12-13

    申请号:CN200580000709.0

    申请日:2005-01-17

    CPC classification number: B82Y10/00 H01J1/312

    Abstract: 电子发射元件(10A)具有由电介质构成的发射极部(12)、施加用于电子发射的驱动电压(Va)的上部电极(14)以及下部电极(16),上部电极(14)形成在发射极部(12)的上表面,下部电极(16)形成在发射极部(12)的下表面,上部电极(14)具有露出发射极部(12)的多个贯通部(20),上部电极(14)中贯通部(20)的周部(26)的与发射极部(12)相对的面与发射极部o(12)分离开。

    光源
    78.
    发明公开
    光源 无效

    公开(公告)号:CN1856857A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200480023468.7

    申请日:2004-12-28

    CPC classification number: G09G3/22 B82Y10/00 H01J1/312 H01J63/02

    Abstract: 光源(10A、10B)具有把多个电子发射元件(12A、12B)二维地排列起来的发光部(14)、对该发光部(14)的各电子发射元件(12A、12B)施加驱动电压(Va)的驱动电路(16A、16B)。驱动电路(16A、16B)根据来自外部(亮灯/熄灯开关等)的表示亮灯/熄灯的控制信号(Sc),在各电子发射元件(12A、12B)的上部电极(18)和下部电极(20)上施加驱动电压(Va),来驱动控制各电子发射元件(12A、12B)。各电子发射元件(12A、12B)具有板状的发射体(22)、形成在该发射体(22)的表面的上部电极(18)和形成在该发射体(22)的背面的下部电极(20)。

    压电/电致伸缩设备
    79.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1780009A

    公开(公告)日:2006-05-31

    申请号:CN200510116645.2

    申请日:2005-10-26

    CPC classification number: H01L41/098

    Abstract: 本发明提供一种能够有效防止薄壁隔板部的振动衰减,保持高位移(振幅)且响应性好、可进行高精度(高分辨率、灵敏性)检测的压电/电致伸缩设备。其具有框状的厚壁部(11)及薄壁隔板部(12),通过由厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)形成与外部连通的空腔(13)的陶瓷基体(1);和具有包含下部电极(21)、压电/电致伸缩膜(22)及上部电极(23)的层结构的压电/电致伸缩器件(2)来构成,另外,使薄壁隔板部(12)外侧呈凸出的弧状,并且使所述压电/电致伸缩器件(2)在其内部残留有与和薄壁隔板部(12)的固定面平行的拉应力F。

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