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公开(公告)号：CN102909610B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201210429045.1
申请日：2012-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 五轴联动超精密机床，它涉及一种五轴联动机床。本发明为了解决传统超精密机床存在的功能单一；加工对象形状简单，难以满足复杂微细结构表面和微小元件加工的要求等问题。机床床身上装有X轴导轨和Z轴导轨，X轴导轨上滑动连接有X轴溜板，Z轴导轨上连接有Z轴溜板；X轴溜板上沿竖直方向安装有立柱，立柱的竖直方向滑动连接有Y轴中溜板，Y轴中溜板前固定连接有Y轴前溜板；Y轴前溜板上沿水平方向固定安装有C轴，C轴上安装有真空吸盘，Z轴溜上沿竖直方向安装有B轴；X轴、Y轴、Z轴为液体静压导轨支撑，B轴和C轴采用气体静压支撑，B轴上安装夹具装置及刀具；C轴采用第一光栅和第二光栅来实现双反馈控制。本发明用于加工微细结构表面与微小元件。
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公开(公告)号：CN102862238B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201210344292.1
申请日：2012-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00
Abstract: 一种基于频域误差分配的超精密飞切机床精度设计方法，它涉及一种超精密加工机床精度设计方法，以解决现有超精密飞切机床的设计，没有考虑工件表面的频域误差要求，工件的加工质量和可靠性较差，应用于大型光学系统中适应性差的问题，所述设计方法的主要步骤为：步骤一、确定刀具和工件耦合条件下的动态波动估计模型；步骤二、得到刀尖处的频域误差分布；步骤三、分析产生飞切机床误差的误差单元；步骤六、确定所述的各个误差单元的频域误差组合原则；步骤四、确定各个误差单元在频域内相对于刀尖处的误差敏感度系数；步骤五、确定在一定空间频率区间内所述的各个误差单元的频域误差分布。本发明用于超精密飞切机床精度设计。
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公开(公告)号：CN102935525B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201210486506.9
申请日：2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双主轴式超精密飞切铣床，涉及一种铣床。为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括龙门式床身、纵向直线导轨系统、卧式电主轴系统左、卧式电主轴系统右及空气隔振支撑系统；纵向直线导轨系统位于龙门式床身的中部并固定在基座上；卧式电主轴系统左设置在左立柱上，卧式电主轴系统右设置在右立柱上，纵向直线导轨系统位于卧式电主轴系统左和卧式电主轴系统右之间，真空吸盘左和卧式电主轴系统左相对设置，真空吸盘右和卧式电主轴系统右相对设置。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号：CN102837367B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210361416.7
申请日：2012-09-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D1/18
Abstract: 单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的表面波纹度控制方法，属于大尺寸脆性光学元件超精密加工领域，本发明为解决现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时波纹度误差、频域评价指标PSD1难以保证的问题。本发明该方法包括：一：粗加工；二：获取纵向条纹的空间周期T；三：判断加工机床的刚度，刚度过低，执行四；刚度过高，执行五；四：增大横梁与调平垫体之间的平均压力，然后执行六；五：减小横梁与调平垫体之间的平均压力或接触刚度，然后执行六；六：二次超精密加工，七：重新检测PSD1值，八：判断PSD1≤15nm2·mm是否成立；不成立，返回二；成立，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件U的波纹度误差及频域指标PSD1的控制。
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公开(公告)号：CN103235392A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310155857.6
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 高通量大口径高精度透镜四维在线调焦装置，它涉及一种透镜在线调焦装置。该它解决缺少专门的透镜调整机构进行三维精密调节的问题，提供了一种高通量大口径高精度透镜四维在线调焦装置的问题。透镜框内装有透镜，透镜框设在透镜框滑道内，透镜框滑道与升降框连接，升降框在第一导轨和第二导轨内沿竖直方向滑动，水平框沿横向在第三导轨和第四导轨内滑动。本发明用于透镜在线调焦。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102975299A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210486509.2
申请日：2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双刀盘式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括大理石T型床身、横向直线导轨系统、纵向直线导轨系统、双刀盘主轴系统、空气隔振支撑系统；横向直线导轨系统与纵向直线导轨系统垂直布置在大理石T型床身上，横向直线导轨系统位于纵向直线导轨系统的两端，双刀盘主轴系统位于纵上溜板上，两个真空吸盘和双刀盘主轴系统形成相对运动。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号：CN102935525A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201210486506.9
申请日：2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双主轴式超精密飞切铣床，涉及一种铣床。为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括龙门式床身、纵向直线导轨系统、卧式电主轴系统左、卧式电主轴系统右及空气隔振支撑系统；纵向直线导轨系统位于龙门式床身的中部并固定在基座上；卧式电主轴系统左设置在左立柱上，卧式电主轴系统右设置在右立柱上，纵向直线导轨系统位于卧式电主轴系统左和卧式电主轴系统右之间，真空吸盘左和卧式电主轴系统左相对设置，真空吸盘右和卧式电主轴系统右相对设置。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削，而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式，具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号：CN102880765A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210397338.6
申请日：2012-10-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 用于气体静压主轴动力学预测的仿真方法，涉及一种用于气体静压主轴动力学预测的仿真方法，解决了现有技术中传统的仿真方法建模困难、精度低而引起的在设计阶段对主轴的动态特性预测困难的问题。所需步骤：利用有限元方法和气体静压原理，通过对气体静压主轴轴承气膜划分有限元网格，计算得到气体静压主轴的压力分布数据We；建立与有限元网格相对应的主轴轴体的有限元模型；将有限元主轴的压力分布数据We转化为等效弹簧刚度值，并将等效弹簧刚度值赋值到与气膜有限元网格相对应的节点上；建立气体静压主轴的有限元模型，根据所建立的有限元模型，计算气体静压主轴的动力学特性。主要用于对气体静压主轴的动态特性预测。
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公开(公告)号：CN102862238A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210344292.1
申请日：2012-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00
Abstract: 一种基于频域误差分配的超精密飞切机床精度设计方法，它涉及一种超精密加工机床精度设计方法，以解决现有超精密飞切机床的设计，没有考虑工件表面的频域误差要求，工件的加工质量和可靠性较差，应用于大型光学系统中适应性差的问题，所述设计方法的主要步骤为：步骤一、确定刀具和工件耦合条件下的动态波动估计模型；步骤二、得到刀尖处的频域误差分布；步骤三、分析产生飞切机床误差的误差单元；步骤六、确定所述的各个误差单元的频域误差组合原则；步骤四、确定各个误差单元在频域内相对于刀尖处的误差敏感度系数；步骤五、确定在一定空间频率区间内所述的各个误差单元的频域误差分布。本发明用于超精密飞切机床精度设计。
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公开(公告)号：CN101876393B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201010195838.2
申请日：2010-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超精密平台调平装置，它涉及一种调平装置。本发明的目的是解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题。槽形底座上装有第二底座、第一底座和第三平面垫块，第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置；第一斜垫设置在第一底座上，第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接，平面垫块设置在第一斜垫上，第一球头调整垫块与平台固接；第二斜垫设置在第二底座上，第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接，第二球头调整垫块装在凹槽内，第二球头调整垫块与平台固接。本发明可以广泛应用于超精密机床、光学检测与成像等领域。
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