公开(公告)号：CN109238132A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201811064647.5

申请日：2018-09-12

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 陈洪芳 ,  汤亮 ,  石照耀 ,  姜博 ,  宋辉旭

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了基于外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量光学系统仿真方法，本发明首先分析了基于直反射三光路激光外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量光学系统原理，然后根据光学系统原理利用ZEMAX建立基于直反射三光路激光外差干涉的双基圆盘式渐开线样板测量系统的能量仿真模型，并利用此能量仿真模型分析光学系统中各光学元件性能非理想对激光外差干涉信号能量的影响。本发明方法突破双基圆盘式渐开线样板亚微米级精度测量技术的瓶颈，建立新的测量模型，分析光学元件非理想对测量系统能量的影响。对直反射三光路激光外差干涉的双基圆盘式渐开线样板高精度测量光学系统设计，光学元件的选择，测量系统精度的提高具有指导意义。

公开(公告)号：CN108413877A

公开(公告)日：2018-08-17

申请号：CN201810138006.3

申请日：2018-02-10

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 陈洪芳 ,  李宝山 ,  石照耀 ,  宋辉旭 ,  孙衍强

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/026

Abstract: 本发明公开了一种用于激光跟踪测量系统的水平轴微调装置，属于激光测量领域。该水平轴微调装置主要包括三个部分。第一，水平面前后方向上的微动部分，通过旋转水平轴水平方向调节机构二实现支撑板在内的大部分结构前后微动。第二，起导向作用的部分，导向作用的部分主要结构为底板，底板在微调过程中对于整个激光跟踪测量系统的相对位置不变。第三，支撑板水平状态平衡调节部分，主要包括紧定螺钉、圆柱销和弹簧。该装置基于一种标准球相对位置不改变的激光跟踪测量系统中的微调装置，通过调节水平回转轴线的前后微调实现水平轴与垂直轴相交。通过水平轴微调装置实现俯仰轴在水平面前后方向上的微动，提高了激光跟踪测量系统的测量精度。

公开(公告)号：CN107607041A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201710861331.8

申请日：2017-09-21

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 石照耀 ,  宋辉旭 ,  陈洪芳 ,  孙衍强

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种用于转台六项几何误差高效测量装置，该装置利用一个十二面棱镜，两个激光二极管组件和两个位置传感器组件测量转台的三个角度量误差(EAC，EBC，ECC)；利用一个标准球，一个激光干涉仪组件，一个激光二极管组件和两个位置传感器组件测量转台的三个位移量误差(EXC，EYC，EZC)。在测量的过程中，标准件套件同轴地固定在转台上，并且在转台的一次全周回转运动中，该测量装置能够将转台的六项几何误差一次性全部测量出来。本发明提供的转台六项几何误差高效测量装置能够有效地提高转台几何误差的测量效率。

公开(公告)号：CN106643505A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201710036849.8

申请日：2017-01-18

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 石照耀 ,  宋辉旭 ,  陈洪芳 ,  孙衍强

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种验证激光追踪测量系统标准球面反射镜减小轴系跳动误差方法，提供了一种基于相对运动思想的验证激光追踪测量系统标准球面反射镜减小轴系跳动误差的手段。该方法转变了激光追踪测量系统中标准球面反射镜与垂直回转轴系和水平回转轴系的运动关系，即两回转轴系固定不动，以标准球面反射镜在空间的微动代替两回转轴系的跳动。根据激光干涉仪的读数变化判断轴系跳动误差对激光追踪测量系统激光干涉测长结果的影响。实验表明，一种验证激光追踪测量系统标准球面反射镜减小轴系跳动误差方法简化了实验流程，并得出了激光追踪测量系统使用的标准球面反射镜具有减小轴系跳动误差作用的结论。