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公开(公告)号：CN111595321A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584670.8
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源十字流式微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的对流式的震荡热流，热流末端为矩形的隔离电阻。这种十字流式的热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。
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公开(公告)号：CN111595319A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584662.3
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN111595318A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584358.9
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN110441550A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910841272.7
申请日：2019-09-06
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。该电路内嵌式12电极石英加速度计包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述内嵌式电路板设置于所述敏感元件的内部。本发明采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，通过将六电极谐振器的激励电路改进为内嵌式，并置于敏感元件的腔体之内，提高了检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN108092637A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201611013644.X
申请日：2016-11-21
Applicant: 北京信息科技大学
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/0547 , H03H9/125 , H03H9/19
Abstract: 本发明涉及一种20MHz集成式石英力敏谐振器的设计、结构及制作。本发明在同一石英晶体基片上不同的位置设置多对电极，每对电极可构成一个独立的谐振器，各谐振器分别与各自的激励电路连接时可同时独立地工作，彼此之间互不干扰。当在基片的边缘位置沿直径方向给基片施加径向力作用时，不同位置的谐振器表现出不同的力敏特性；选择一定的径向力作用方位，利用不同位置的谐振器间的力敏特性差异，通过共模抑制及频率信号融合技术，可得到一种能抑制温度干扰并具有良好力敏特性的集成式石英力敏谐振器。这种集成式石英力敏谐振器可作为力敏元件用于姿态检测、惯性导航、形变监控等军用装备及民用设施检测控制领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105091876B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201510385582.4
申请日：2015-06-30
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型四通道循环流式三轴硅射流陀螺，该射流陀螺包括四通道循环流式三轴角速度敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，其中，敏感元件包括PMMA上盖、上硅板、下硅板、PMMA底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PMMA上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和热线；PMMA上盖、上硅板、下硅板和PMMA底盖依次粘接构成所述敏感元件。本申请的射流陀螺用一个压电陶瓷圆振子驱动四通道循环流，不仅结构简单，寿命长，功耗低，实现了压电陶瓷圆振子变形方向和射流网络平面的转向，压电陶瓷圆振子的面积大，驱动能力强，射流速度大，射流陀螺的灵敏度高；能同时敏感三个正交方向角速度，多轴一体。
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公开(公告)号：CN107302347A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201610230366.7
申请日：2016-04-15
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明涉及一种10MHz、6对电极石英力敏谐振器集群的设计、结构及制作。本发明在同一石英晶体基片上不同的位置设置6对电极，每对电极可构成一个独立的谐振器，分别与各自的激励电路连接时各谐振器可同时独立地工作，彼此之间互不干扰。当在基片的边缘位置沿直径方向给基片施加径向力作用时，不同位置的谐振器表现出不同的力敏特性；选择一定的径向力作用方位，利用不同位置的谐振器间的力敏特性差异，通过共模抑制及频率信号融合技术，可得到一种能抑制温度干扰并具有良好力敏特性的石英力敏谐振器集群。这种石英力敏谐振器集群可作为力敏元件用于姿态检测、惯性导航、形变监控等军用装备及民用设施检测控制领域。
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公开(公告)号：CN105043372B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201510364057.4
申请日：2015-06-26
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明涉及一种微型三自由度开放式气流陀螺，包括三自由度开放式角速度敏感元件和与其实现电气连接的PCB电路板，该三自由度开放式角速度敏感元件包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的敏感元件结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口敏感室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，下硅板上的三对平行热线分别作为PCB电路板的三个惠斯登电桥的两个臂。本发明能够提高气流陀螺的灵敏度，并大幅减小体积和功耗。
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公开(公告)号：CN106352865A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201510415598.5
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种微机械开放气流式平面双轴角速度传感器，由开放式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，该开放式平面双轴角速度芯片包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的角速度芯片结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口敏感室和出口敏感室；入口敏感室和出口敏感室的宽度相同；两对平行热线分别设置在入口敏感室和出口敏感室，分别与两个正交的射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交(x、y)方向的角速度，双轴一体。
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公开(公告)号：CN106352864A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201510415597.0
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本申请公开了一种硅微机械四通道循环流式平面双轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括四通道循环流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和四对分别位于不同射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述四通道循环流式平面双轴角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在四个不同的射流敏感室内分别与四个正交的射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交(x、y)方向的角速度，双轴一体，两个方向上的角速度灵敏度几乎一致，便于实际应用。
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