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公开(公告)号：CN103329279B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201180065726.8
申请日：2011-12-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: H01L31/022433 , H01L31/02167 , H01L31/022425 , H01L31/068 , Y02E10/547
Abstract: 本发明涉及太阳能电池，是在至少具有pn结的结晶硅基板上形成钝化膜、经过导电性糊的印刷和热处理的工序形成电极的太阳能电池，其特征在于，具有：以将光生成的载流子从硅基板取出的取出电极与硅基板接触的方式形成的第1电极、和以将在上述第1电极收集的载流子收集的集电极与上述第1电极接触的方式形成的第2电极，上述第2电极和硅基板至少在第1电极和第2电极的接触点以外只部分地相接或完全不相接，根据本发明，通过在集电极与硅之间使钝化膜完全或部分地残留，从而能够使在电极/硅界面的电荷损失减少，改善短路电流、开路电压，提高太阳能电池特性。此外，工序能够采用以往的丝网印刷技术等实现，对于成本削减极其有效。
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公开(公告)号：CN102598308A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080050384.8
申请日：2010-05-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/068 , H01L31/0216
CPC classification number: H01L31/02167 , H01L31/022425 , H01L31/068 , H01L31/1868 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了太阳能电池，其包括：具有受光面和非受光面的半导体基板；形成于半导体基板上的pn结；形成于受光面和/或非受光面上的钝化层；以及形成于受光面和非受光面上的电力提取电极。太阳能电池的特征在于，钝化层包括具有40nm或更少厚度的氧化铝膜。由于在基板表面上形成具有预定厚度的氧化铝膜，可以仅通过作为传统技术的烧成导电性糊获得优异的钝化性能以及在硅和电极之间的优异的电接触。此外，可省去过去为获得氧化铝膜的钝化效果所必需的退火步骤，由此显著地降低成本。
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公开(公告)号：CN217948254U
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202220519843.2
申请日：2022-03-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C16/40 , C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本实用新型的成膜装置对经雾化的原料溶液进行热处理而在基板上进行成膜，所述成膜装置包括：雾化部，将所述原料溶液雾化而产生雾；载气供给部，供给载气，所述载气搬送所述雾化部中所产生的所述雾；成膜部，在内部包括载置所述基板的载置部，将由所述载气搬送的所述雾供给至所述基板上；以及排气部，从所述成膜部排出废气，且在所述成膜部内的所述载置部的上方进而包括：喷嘴，向所述基板上供给所述雾；以及顶板，将从所述喷嘴供给的所述雾进行整流。由此，提供一种能够应用雾CVD法、能够形成膜厚的面内均一性优异的膜的成膜系统及成膜装置。
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公开(公告)号：CN218951491U
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202222440438.4
申请日：2022-09-15
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/46
Abstract: 本实用新型是一种成膜装置、结晶性氧化物膜及其应用，所述成膜装置进行喷雾化学气相沉积法，所述成膜装置包括：基板加热部件，具有载置基板的基板载置部；喷嘴，喷出方向相对于所述基板的表面为垂直方向，且供给包含原料溶液的喷雾；以及所述喷嘴和/或所述基板加热部件的位置调整部件，能够将所述基板载置部的位置调整为所述喷嘴的所述喷出方向的位置与所述喷出方向以外的位置。由此，提供一种以氧化镓为主成分的结晶性氧化物膜、用于使所述结晶性氧化物膜成膜的成膜装置，所述结晶性氧化物膜的结晶性优异，即便为大面积且薄的膜厚，面内的膜厚分布也良好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN218146932U
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202220709419.4
申请日：2022-03-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 桥上洋
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/40 , H01L21/02 , H01L21/34
Abstract: 本实用新型提供一种能够稳定地形成结晶取向性优异且高品质的刚玉型结晶薄膜，具有刚玉型结晶结构的半导体膜，的厚膜的层叠体的制造系统、层叠体以及半导体装置。所述层叠体包括具有刚玉型结晶结构的半导体膜，所述层叠体的制造系统包括：将基体载置于载台的机构；对所述基体进行加热的机构；使成膜用原料溶液雾化的机构；使所述雾化的成膜用原料溶液与载气混合而形成混合气体的机构；以及将所述混合气体供给至所述基体进行成膜的机构，将所述载台的与所述基体的接触面、以及所述基体的与所述载台的接触面的表面粗糙度Ra设为0.5μm以下。
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公开(公告)号：CN218089887U
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202220401629.7
申请日：2022-02-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 桥上洋
IPC: C30B25/14 , C30B29/16 , C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/44 , C23C16/40
Abstract: 本实用新型是一种可制成能够更容易均匀地形成高品质的膜的制膜系统与制膜装置，包括：将原料溶液雾化而形成原料雾的机构；将原料雾与载气混合而形成混合气的机构；载台，载置基体；将混合气从混合气供给单元供给至基体并在基体上进行制膜的机构；对制膜后的混合气进行排气的机构；通道板，以隔着空间与基体相向的方式配置于基体上；以及凸部，以遮挡混合气的气流偏离从混合气供给单元朝向排气单元的方向的方式形成于通道板的一部分和/或载台的一部分，通道板与凸部以形成比通道板与基体之间的空间中的最短距离d1小的宽度d2的空隙的方式配置。
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公开(公告)号：CN221421215U
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202220709474.3
申请日：2022-03-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/40 , H01L21/02 , H01L21/34
Abstract: 本实用新型是一种层叠结构体，包括基底基板与以氧化镓为主成分的结晶性氧化物膜，所述结晶性氧化物膜的表面的均方根粗糙度为0.2μm以下，所述基底基板的直径为50mm以上，所述基底基板的TTV为30μm以下。由此，本实用新型提供一种包含表面平滑的结晶性氧化物膜的层叠结构体、半导体装置以及所述层叠结构体的制造系统，所述结晶性氧化物膜在适用于半导体装置的情况下，半导体特性优异。
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公开(公告)号：CN217781272U
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202220709479.6
申请日：2022-03-30
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 国立大学法人和歌山大学
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/40 , H01L21/02 , H01L21/34
Abstract: 本实用新型为一种成膜系统，其进行结晶性氧化物膜的成膜包括：原料溶液制造部，制造用于进行雾化的原料溶液且为包含含有金属元素的溶质与溶媒的原料溶液；雾化部，将所制造的所述原料溶液喷雾化或液滴化而生成雾；搬送部，通过载气来将所述雾搬送至成膜部；以及成膜部，从喷嘴向基板上供给所述雾，并在所述基板上进行热处理而进行成膜，并且所述原料溶液制造部包括搅拌部件，所述搅拌部件在将包含金属元素的溶质混合于溶媒中并加以搅拌时，将温度设为30℃以上来进行搅拌。由此，可提供一种成膜速度优异的、即便在将两种以上的元素的固溶体成膜时也能够进行膜中组成的再现性优异的成膜的成膜系统。
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公开(公告)号：CN303854420S
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201630047509.1
申请日：2016-02-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 1、本外观设计产品的名称：太阳能电池。2、本外观设计产品的用途：本外观设计产品作为太阳能电池来使用。3、本外观设计产品的设计要点：在于如图所示的形状等。4、最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1A部放大参考图。5、指定基本设计：设计1。6、在设计1主视参考图、设计2主视参考图、设计3主视参考图以及设计4主视参考图中，2表示太阳能电池的受光面的相反侧的面，3表示指状电极，5表示绝缘膜，6表示总线电极，在设计1使用状态立体参考图、设计2使用状态立体参考图、设计3使用状态立体参考图以及设计4使用状态立体参考图中，4表示引线。7、设计1A部放大参考图中用阴影线表示的部分，即设计1的绝缘膜5采用透明材质，设计3A部放大参考图中用阴影线表示的部分，即设计3的绝缘膜5采用透明材质。
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