一种湿法刻硅制备微芯环腔的方法

    公开(公告)号:CN113526458A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202010299877.0

    申请日:2020-04-16

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 一种湿法刻硅制备微芯环腔的方法,步骤如下:取一片硅片,硅片表面为二氧化硅氧化层,使用光刻和氢氟酸刻蚀的方法,在硅片表面得到覆盖有光刻胶的二氧化硅圆盘图形;其次使用氢氟酸‑硝酸混合溶液作为刻蚀溶液对得到的覆盖有光刻胶的二氧化硅圆盘图形进行湿法刻蚀,得到微盘腔;最后将微盘腔表面光刻胶去除,并使用激光器对其进行热回流,完成微芯环腔的制备。本发明使用氢氟酸‑硝酸刻蚀替代了制备流程中的干法刻蚀,提高了各向同性,使得该刻蚀方法适用于超高品质微芯环腔的制备,在1550nm波段实现了108以上的品质因子,这与相关报道中的品质因子相当。本发明同时还具备成本低、刻蚀设备简单、维护容易、对温湿度鲁棒性好等优点。

    一种实现频率调控的装置
    72.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113003531A

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN202110183254.1

    申请日:2021-02-08

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本文公开一种实现频率调控的装置,本发明实施例包括:微球腔、固定结构、光纤、三维位移平移台和控制器;其中,微球腔的连接支柱水平连接于一固定结构;光纤的第一端与三维位移平移台的压电陶瓷连接;光纤的纤芯与微球腔的连接支柱平行;控制器调控共振频率时,光纤的第二端与微球腔的顶点接触;控制器通过控制施加于压电陶瓷上的电压,控制经由光纤施加于微球腔的压力,以进行微球腔共振频率的调控;其中,第二端的端面为平整的截面;顶点为微球腔距离第二端最近的点。本发明实施例实现了微球腔的机械模式的共振频率调控。

    单层反射、透射双向辐射波束扫描天线

    公开(公告)号:CN109088174B

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN201810765583.5

    申请日:2018-07-12

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明属于天线技术领域,尤其涉及一种基于可重构电磁表面技术的单层反射、透射双向辐射波束扫描天线,包括:馈源和由多个双向相控辐射单元所组成的阵列;馈源用于发射或者接收电磁波;双向相控辐射单元用于调制反射波相位和透射波相位。所述双向相控辐射单元自上而下包括金属层、介质板、直流偏置电路层,其中金属层设置有数字控制器件,所述直流偏置电路层用于为数字控制器件提供工作电压和控制数字控制器件的工作状态。所述双向相控辐射单元的反射和透射极化方向相同,且与馈源极化方向正交,在阵面透射传播方向上,天线的透射电磁波和和馈源入射到阵面的电磁波极化方向正交隔离,采用交叉极化实现相控功能。

    基于电磁表面技术的空间馈电式的高增益端射阵列天线

    公开(公告)号:CN109768389B

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:CN201910126509.3

    申请日:2019-02-20

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于电磁表面技术的空间馈电式的高增益端射阵列天线,包括:初级馈源,用于发射和/或接收电磁波;和厚度极薄的单层和/或多层的介质和金属组合表面,用于将初级馈源发出的电磁波转换为端射聚焦波束,或者将端射方向接收的空间波汇聚到的初级馈源内。本发明实施例的天线具有以下显著优点:(1)只需要极薄的电磁表面,具有重量轻,剖面极低,以及造价低等优点。(2)反射波束与透射波束二者集成,增加了天线利用率,节约天线占用空间,进一步降低天线重量。(3)天线增益会随着口面尺寸增加而增加。

    漫反射薄膜及其制作方法
    75.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105785488B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201410799885.6

    申请日:2014-12-19

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种漫反射薄膜,所述薄膜由随机无序堆积的,对光无吸收或者吸收率较低的单分散微球组成,所述微球的直径范围在300~3000纳米。本发明还公开了一种漫反射薄膜的制作方法,该方法包括:制备单分散的微球悬浮液,所述微球的直径范围在300~3000纳米;向微球悬浮液中加入使微球聚集的电解质溶液;在基底上沉积微球聚集后的微球悬浮液;通过完全挥发微球悬浮液中的溶剂以及加热使微球粘连得到漫反射薄膜。采用本发明能够以极小厚度的薄膜材料实现高反射率的漫反射。

    学生综合素质评价系统
    76.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107330821A

    公开(公告)日:2017-11-07

    申请号:CN201610274031.5

    申请日:2016-04-28

    CPC classification number: G06Q50/205

    Abstract: 本发明提供一种学生综合素质评价系统,包括:获取模块,用于分别获取针对学生的每个待评价素质时学校对学生的评价信息和/或学生的自评信息;打分模块,用于根据学校对学生的评价信息和/或学生的自评信息确定所述每个待评价素质的积分;统计模块,用于根据学生的所有待评价素质的积分确定学生的综合素质报告。本发明实施例根据学校对学生的评价信息或者学生的自评信息确定学生的每个待评价素质的积分,从而综合所有待评价素质的积分能够确定学生的综合素质报告,该综合素质报告可以被高校在招生中有效使用。该学生综合素质评价系统对学生的日常行为进行详细的统计分类,便于评价参与者和使用者理解。

    漫反射薄膜及其制作方法
    77.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105785488A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201410799885.6

    申请日:2014-12-19

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种漫反射薄膜,所述薄膜由随机无序堆积的,对光无吸收或者吸收率较低的单分散微球组成,所述微球的直径范围在300~3000纳米。本发明还公开了一种漫反射薄膜的制作方法,该方法包括:制备单分散的微球悬浮液,所述微球的直径范围在300~3000纳米;向微球悬浮液中加入使微球聚集的电解质溶液;在基底上沉积微球聚集后的微球悬浮液;通过完全挥发微球悬浮液中的溶剂以及加热使微球粘连得到漫反射薄膜。采用本发明能够以极小厚度的薄膜材料实现高反射率的漫反射。

    一种γ-氧化铝颗粒及其制备方法

    公开(公告)号:CN103204527A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201310097588.2

    申请日:2013-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种γ-氧化铝颗粒及其制备方法,制备方法中采用步骤1)和2)的共沉淀法过程,步骤3)的水热陈化,并通过步骤4)喷雾干燥以及步骤5)加热后制得γ-氧化铝颗粒。制备过程工序简单,不需要一般水热方法所需的后续处理过程。且制备时采用价廉的可溶性铝盐为原料,成本较低。同时,制得的γ-氧化铝经实验验证测试,其比表面积在180m2/g~260m2/g范围内,具有高比表面积。制得的γ-氧化铝颗粒在扫描电镜下观测具有中空泡沫状形貌,且具有微孔-介孔-大孔的复合孔径结构。这样,γ-氧化铝作为催化剂载体时,其中空泡沫状形貌可以有效分散催化剂中的活性组分。而中空泡沫状形貌和复合孔径结构,有利于催化过程中的物质传输,从而加快催化反应速率。

    氧化物粉体及其制备方法、催化剂、以及催化剂载体

    公开(公告)号:CN103172030A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201310095109.3

    申请日:2013-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种氧化物粉体及其制备方法、一种催化剂、以及一种催化剂载体。所述粉体包括具有由纳米晶氧化物团聚形成的中空微球结构的粉体,中空微球的球壁上具有多孔结构。所述制备方法为前述粉体的制备方法,其利用沉淀法制备获得适于喷雾干燥的水溶液体系料浆,通过喷雾干燥后焙烧获得目标粉体,所述催化剂及催化剂载体包括前述的氧化物粉体。与现有技术相比,本发明的粉体具有多孔中空微球结构,其有高比表面积,作为催化剂或催化剂载体时有利于物质的扩散,而所述方案工序简单,易于操作,适于工业化生产。

    一种VoIP系统
    80.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218634029U

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202221694046.4

    申请日:2022-06-30

    Abstract: 本实用新型提供了一种VoIP系统,包括:呼叫组件,配置成用户通过所述呼叫组件发出指令或进行语音通话,所述呼叫组件将指令的内容或语音通话的内容编码在量子态上,生成量子光脉冲并发射;接听组件,配置成接收所述量子光脉冲,将所述量子光脉冲携带的信息解码,转换成指令的内容或语音通话的内容;量子信道,连接所述呼叫组件与所述接听组件,配置成使所述量子光脉冲通过所述量子信道进行传输。本实用新型所提供的VoIP系统,将VoIP网络电话的标准协议下的数据帧编码到量子态上,通过发送量子光脉冲进行传输。量子信道的安全性可以通过传输信息的双方共享测量基矢和位置信息实现,保障了传输信道的安全性和可靠性,满足了VoIP网络电话通讯系统更高级的指标要求。

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