一种含氟聚酰亚胺光波导材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN101246222A

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200710191071.4

    申请日:2007-12-07

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 一种含氟聚酰亚胺光波导材料及其制备方法涉及集成光学器件中聚合物材料的制备的方法,可应用于波导光学器件,该材料由三单体缩合共聚得到,即由两个二胺单体与一个二酐单体缩合共聚或由两个二酐单体与一个二胺单体缩合共聚得到含氟聚酰亚胺,经提纯后,制成含氟聚酰亚胺N-甲基吡咯烷酮溶液,滴加在洁净的基片中央旋涂成膜,并干燥,固化。该材料玻璃化温度>200℃,在光通讯波段1550nm处光学损耗<0.6dB/cm,1550nm处的折射率在1.5~1.6。在该含氟聚酰亚胺薄膜上再旋涂一层光刻胶,烘干后,加掩模板进行掩模,光刻,显影,再经过反应离子刻蚀工艺刻蚀,去剩余光刻胶,制成聚合物平面波导。

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