公开(公告)号：CN101441411A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200810207793.9

申请日：2008-12-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 叶志成 ,  郑君

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  C23C14/14 ,  G03F7/36

Abstract: 本发明涉及一种光电技术领域的表面等离子体共振曝光光刻方法，由不同金属材料图形或者同种金属材料不同厚度图形构成不透光掩模版，利用棱镜耦合激发某些图形对应的表面等离子体进行曝光光刻，步骤为：将棱镜、带有金属薄膜掩模版的基板和带有光刻胶的基片从上到下放置，准直激光入射到棱镜侧面进行曝光。入射光被折射到基板和金属薄膜掩模版的交界面，共振耦合成为和金属薄膜掩模版图形对应的表面等离子体光波，这些光波使光刻胶层曝光，显影得到光刻图形，利用此光刻图形做掩模，刻蚀和去胶，最后在基片上得到和金属薄膜掩模版对应的图形。本发明在干涉情况下能制备带缺陷的光子晶体微腔和波导；在非干涉情况下可以制备非周期的光波导器件。

公开(公告)号：CN217982118U

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202221755453.1

申请日：2022-07-07

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 叶志成 ,  索磊 ,  林伟强

IPC: G03B21/60 ,  G03B21/56

Abstract: 本实用新型公开一种集成微结构表面光纤的投影幕布，包括由光纤通过经纬编织的方式交叠编织的模块，以及沿该模块周缘安装的光学采样模块；所述的光纤表面设有点阵结构光栅，该周期设计合适的光栅能够使得入射激光的至少一个衍射级在空气和光纤表面全反射。本实用新型兼具投影显示的同时，利用表面具有微结构光栅的光纤传输光信号和光学采样模块识别激光笔照射的位置坐标，实现交互功能，提供隔空触控解决方案。