使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法

    公开(公告)号:CN112889134B

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN201980053527.1

    申请日:2019-11-04

    Abstract: 本发明提供了一种使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法,通过该等离子体蚀刻方法能够有效地产生具有火焰形状的图案部。使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法包括以下步骤:通过在蚀刻基板的一个表面上执行第一等离子体蚀刻,以在通过金属掩模暴露的蚀刻基板的一个表面的部分区域上形成第一图案部;以及去除金属掩模,以使蚀刻基板的该一个表面相对于法拉第笼的底表面倾斜的同时将蚀刻基板的该一个表面放置于包括在其上表面上形成的网状部的法拉第笼中;以及进行第二等离子体蚀刻以将第一图案部形成为具有火焰形状的第二图案部。

    显示装置
    66.
    发明公开
    显示装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN118056155A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202280067614.4

    申请日:2022-09-30

    Abstract: 本公开内容提供了显示装置。所述显示装置包括:光源;反射从光源入射的光的补偿衍射光学元件;以及离轴反射衍射光学元件,所述离轴反射衍射光学元件将从补偿衍射光学元件反射的光反射到外部,其中补偿衍射光学元件在调节从光源入射的光的反射角的同时将从光源入射的光朝向离轴反射衍射光学元件反射以补偿从离轴反射衍射光学元件反射的光的反射角畸变。

    用于制造衍射光学元件的设备和方法

    公开(公告)号:CN117795384A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202280054126.X

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本公开内容提供了用于制造衍射光学元件的设备和用于制造衍射光学元件的方法,所述设备包括:用于制造衍射光学元件的棱镜,所述棱镜包括光反应性材料附接表面和与光反应性材料附接表面以预定角度倾斜的光反射表面;以及光源,所述光源定位在棱镜的相对于附接至光反应性材料附接表面的光反应性材料的相对侧,并且被配置成朝向光反应性材料照射光。

    用于制造显示透镜的设备和方法以及包括由此制造的显示透镜的头戴式显示装置

    公开(公告)号:CN113711105B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202080029100.0

    申请日:2020-09-23

    Abstract: 根据本公开内容的一个方面的一个实施方案提供了用于制造显示透镜的设备、用于使用所述设备制造显示透镜的方法以及包括由此制造的显示透镜的头戴式显示装置。用于制造显示透镜的设备包括:第一激光入射单元,所述第一激光入射单元被配置成使沿照射方向会聚的第一激光入射在光敏基底的一个表面上;以及第二激光入射单元,所述第二激光入射单元被配置成使沿照射方向在复数个点处发散的第二激光入射在光敏基底的另一个表面上,所述显示透镜包括通过经由照射激光束来在其中基底涂覆有光敏材料的光敏基底上记录全息图而形成的全息光学元件。

    衍射导光板和包括其的显示装置

    公开(公告)号:CN113544576B

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202080019623.7

    申请日:2020-04-01

    Abstract: 公开了衍射导光板和包括其的显示装置。衍射导光板包括:导光单元,所述导光单元被配置成引导光;第一衍射光学元件,所述第一衍射光学元件包括以预定间距重复形成的线性光栅使得从光源输出的光在导光单元上被接收并引导,并且第一衍射光学元件被配置成使接收的光衍射;以及第二衍射光学元件,所述第二衍射光学元件设置在导光单元的一个表面上的与其中设置有第一衍射光学元件的区域不同的区域中,并且包括设置在其中沿第一方向以预定间距重复排列的虚拟的第一线性图案和沿不同于第一方向的第二方向以预定间距重复排列的虚拟的第二线性图案彼此交叉的区域中的二维图案,其中二维图案的水平截面具有椭圆形形状,并且椭圆形形状的长轴与垂直于包括在所述第一衍射光学元件中的线性光栅的延伸方向的方向之间形成的角度小于20°。

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