基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法

    公开(公告)号:CN106216833B

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201610652679.1

    申请日:2016-08-10

    Abstract: 本发明涉及一种基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明在水辅助的条件下,通过设计时域整形脉冲序列,以调节局域瞬时电子密度和电子温度,改变材料相变过程,从而获得了微纳复合双级结构。相比传统的多级结构加工方法,时域整形脉冲序列加工半导体多级结构具有周期短、成本低、重复性好的优点。

    一种利用电子动态调控改变光栅结构周期的方法

    公开(公告)号:CN103639600B

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201310706858.5

    申请日:2013-12-19

    Inventor: 姜澜 史雪松 李欣

    Abstract: 本发明涉及一种利用电子动态调控改变光栅结构周期的方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明通过时域脉冲整形技术设计飞秒激光脉冲序列,将飞秒激光脉冲序列,入射到加工物镜中聚焦,并保持激光焦点聚焦到样品表面,以相同的脉冲延迟增加脉冲序列中子脉冲的个数,使得在材料表面电离的自由电子密度维持在满足表面等离子体激发条件上并稳步增加,从而得到多种周期下的光栅结构。本发明在空气中即可进行,无需真空环境或液体、气体辅助,节约了加工成本,提高了加工效率。克服了飞秒激光器输出脉冲能量不稳定、周期调节精度低、周期范围有限等问题。

    基于飞秒激光电子动态调控制备表面增强拉曼基底的方法

    公开(公告)号:CN104028777A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410283659.2

    申请日:2014-06-23

    Abstract: 本发明涉及一种基于飞秒激光电子动态调控制备表面增强拉曼基底的方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明直接使用飞秒激光照射还原硝酸银溶液制备银纳米粒子并通过改变脉冲序列中子脉冲的延时对纳米粒子的粒径分布进行调节,将加工底层纳米柱结构和还原制备银纳米粒子两个过程同时完成,克服了传统化学方法制备银纳米粒子的成本高、稳定性差的缺陷,节约了加工成本。

    一种利用电子动态调控改变光栅结构周期的方法

    公开(公告)号:CN103639600A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310706858.5

    申请日:2013-12-19

    Inventor: 姜澜 史雪松 李欣

    CPC classification number: B23K26/361 B23K26/06 B23K26/0624 G02B5/18

    Abstract: 本发明涉及一种利用电子动态调控改变光栅结构周期的方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明通过时域脉冲整形技术设计飞秒激光脉冲序列,将飞秒激光脉冲序列,入射到加工物镜中聚焦,并保持激光焦点聚焦到样品表面,以相同的脉冲延迟增加脉冲序列中子脉冲的个数,使得在材料表面电离的自由电子密度维持在满足表面等离子体激发条件上并稳步增加,从而得到多种周期下的光栅结构。本发明在空气中即可进行,无需真空环境或液体、气体辅助,节约了加工成本,提高了加工效率。克服了飞秒激光器输出脉冲能量不稳定、周期调节精度低、周期范围有限等问题。

    一种时/频整形激光在厚电极上构建超低损耗通孔的方法

    公开(公告)号:CN119794622A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202411869349.9

    申请日:2024-12-18

    Abstract: 一种时/频整形激光在厚电极上构建超低损耗通孔的方法,属于电极材料激光加工领域。本发明的实现方法为:采用双折射晶体、BBO、高倍物镜将传统的高斯激光时频整形为具有一定延时和焦深的短波长激光,采用谐波分束解决反射光带来的安全问题,采用限光阑的方式确保使用高单脉冲能量的激光同时缩小光斑直径,实现在厚电极上制备超低损耗低迂曲度的孔隙结构,损耗控制在1%以内。本发明能够解决使用倍频激光的反射能量带来的安全问题,减少厚电极中引入的孔隙损耗过高且无法压延的问题,解决厚电极的容量和倍率性能下降的问题,提高厚电极的功率密度、能量密度、循环寿命。

    基于同轴吹气空间激光加工发动机叶片冷却异形孔的方法

    公开(公告)号:CN117862706B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202311584980.X

    申请日:2023-11-24

    Abstract: 本发明公开一种基于同轴吹气空间激光加工发动机叶片冷却异形孔的方法,属于激光应用领域,针对发动机叶片异形孔特征设计优化激光空间光场,结合气体辅助实现目标异形孔的叩击式一体成型,实现发动机叶片异形孔高质高效加工。基于发动机叶片常使用带热障涂层的高温合金表层和内部材料组分性质迥异这一特点,将高斯光场整形成不同形状及能量分布的三维空间光,调控空间整形光场最低能量密度大于各组分加工阈值,调控空间整形光场形状与目标异形孔一致,并采用机器学习对空间整形光场进行优化,得到最佳光刀,结合空间相位变换,实现一种孔型光刀到另一种孔型光刀的快速切换,以提升同批次不同形状异形孔大规模阵列的加工效率。

    真空环境下双波长平顶飞秒激光振镜系统一体化加工方法

    公开(公告)号:CN117206670B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202311409274.1

    申请日:2023-10-27

    Abstract: 本发明适用于微纳加工技术领域,提供了一种真空环境下利用双波长平顶飞秒激光加三维振镜系统的加工方法,所述加工方法包括:基于不同材料对不同波长的激光吸收率不同,以及真空环境下利用平顶光加工的良好效果,产生的一种一体化加工DLC加TiN叠层膜样品的方法。总体加工思路为:运用飞秒激光整形器件将高斯光变为平顶光,再利用倍频晶体产生双波长激光,后利用真空腔设置出真空加工环境,随后利用三维振镜加工系统对叠层膜样品进行加工,从而得到一体化的加工方法。

    一种用于碳纤维复合材料结构的超快激光切割方法

    公开(公告)号:CN114227008B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202111649755.0

    申请日:2021-12-30

    Abstract: 本发明涉及的用于碳纤维复合材料结构的超快激光切割方法,包括以下步骤:S1、在试片上,测定并记录多个单次划线刻蚀深度及与多个单次划线刻蚀深度相对应的激光的多个入射脉冲能量通量,并根据所提理论公式拟合得出材料去除阈值通量和特征吸收深度;S2、将防护垫板、碳纤维复合材料、压板和磁铁依次叠放在激光加工系统的承载与运动平台上,压板由在激光的波长下透光率≥85%的材料制成;S3、设置入射脉冲能量通量,根据计算公式得到相应的单次划线刻蚀深度,确定加工扫描次数,投射远程激光透过压板并辐照于碳纤维复合材料,进行激光切割。本发明的方法,通过量化相关规律和制定装夹方法,可兼顾超快激光切割过程中的高效性、精密与可靠性。

    一种利用激光加工的自封装的三维微型超级电容器

    公开(公告)号:CN116230420A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310056354.7

    申请日:2023-01-18

    Abstract: 本发明涉及一种利用激光加工的自封装的三维微型超级电容器,在制备好的石墨烯量子点和凝胶电解质的复合物内部利用飞秒激光直接加工,利用混合凝胶电解质的透明特性,可以在混合材料内部实现了一种光碳化合成还原氧化石墨烯量子点和碳链的新型电极材料,直接加工出自封装的微型超级电容器。这种被电解质包围的激光图案化内雕的三维有机聚合物/石墨烯量子点复合电极材料,可以直接一步地被合成,无需额外的附加电解质和封装或包装。该方法也提出了一种新的概念,即利用石墨烯量子点和凝胶混合材料直接作为一种电解质,可以传导电荷和离子,而该方法将电解质直接原位选择性部分转化为电极材料,可以完成电解液与电极材料的自组装。原位形成的3D多孔结构可以使更有效的电荷传输超越传统电极的限制,具有更高的质量负载。从而更容易储存和运输,解决了困扰超级电容实际应用的一大难题。

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