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公开(公告)号:CN109270799A
公开(公告)日:2019-01-25
申请号:CN201811144382.X
申请日:2018-09-29
申请人: 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本发明提供一种便于维护的曝光机,包括曝光机外壳,蓄电池,可调软管,电源开关,辅助照明灯,机盖,提手,可更换曝光灯灯架结构,备用曝光灯灯架储存框结构,可调节底架结构,固定外框,导风管,风机支架和微型轴流风机,所述的蓄电池胶接在曝光机外壳的上部;所述的可调软管胶接在蓄电池的上部右侧;所述的电源开关胶接在蓄电池的右侧;所述的辅助照明灯胶接在可调软管的右端。本发明曝光灯架的上侧嵌入有LED曝光灯,利于在单个曝光灯架上的LED照明灯损坏时,将单个曝光灯架拆除即可,且方便进行维护该装置;备用灯架放置在储存槽内,有利于对备用灯架进行储存,从而方便在曝光灯架损坏时能够及时供给。
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公开(公告)号:CN108919487A
公开(公告)日:2018-11-30
申请号:CN201810958929.3
申请日:2018-08-22
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 张家港奇点光电科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种成像曲面非均匀采样方法,该方法可以根据DOE面上的采样点对应得到成像曲面上的采样点坐标,该成像曲面上的采样点为非均匀采样,这样避免畸变或模糊。另外,本发明还公开了一种DOE元件的设计方法,该DOE元件的设计方法通过瑞利-索末菲衍射积分公式的正逆向衍射方式使得设计出来的DOE元件适用于大视场投影,确保高分辨率成像。本发明还公开了使用上述方法的曲面成像方法,该曲面成像方法利用非均匀采样方法,使得DOE产生的空间频谱与曲面投影图像的空间频谱相互对应,适合近场大衍射角衍射的曲面成像,避免产生畸变或图像模糊。
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公开(公告)号:CN107748483A
公开(公告)日:2018-03-02
申请号:CN201711154256.8
申请日:2017-11-20
申请人: 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/70925 , G03F7/70933
摘要: 本发明公开了一种多功能的曝光机基台的清洗装置,包括基台本体,安装板,清洗管装置,清扫刷装置,风干机装置,排水槽,排水管,HEPA滤网和活性炭滤网,所述的安装板焊接在基台本体的右侧;所述的清洗管装置安装在基台本体的上部右侧。本发明出风管安装在风机固定框的左侧,配合风机本体的设置,有利于方便对清洗后的基台本体进行风干,防止灰尘吸附在基台本体的表面上;齿轮与齿条啮合,有利于方便带动驱动电机在滑轨上左右移动和,配合清洗刷方便对基台本体的表面进行清扫;储水箱的前表面镶嵌有观察窗,有利于方便观察储水箱内的水位高度;HEPA滤网和活性炭滤网分别安装在排水槽与排水管的连接处,有利于方便对废水进行过滤。
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公开(公告)号:CN107726060A
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201711078214.0
申请日:2017-11-06
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 张家港奇点光电科技有限公司
CPC分类号: F21K9/20 , F21V5/04 , F21V15/02 , F21V17/12 , F21V19/001 , F21Y2115/10
摘要: 本发明公开了一种用于曝光机的阵列光源照明装置,包括LED光源,LED光源包括固定底板和灯珠组件,LED灯珠组件包括基板、固定于基板上的LED灯珠和灯罩透镜,灯罩透镜包括通过固定结构可拆卸固定的准直透镜和收集透镜,收集透镜设置于准直透镜的出光侧,LED灯珠组件的前方依次设置有聚焦透镜、匀光棒、倍率放大镜头组和曝光接收面,聚焦透镜将光汇集至匀光棒的入射端面,匀光棒为锥形匀光棒,匀光棒的入射端面的面积大于出射端面的面积,倍率放大镜头组将匀光棒出射端面发出的光线放大后成像于曝光接收面上。该阵列光源照明装置利用LED阵列光源用于曝光机,能够提供光斑均匀的曝光面,结构更加紧凑,成本更低。
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公开(公告)号:CN107589636A
公开(公告)日:2018-01-16
申请号:CN201711047375.3
申请日:2017-10-31
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本发明公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置,包括滑动基板,滑动基板上固定有LED光源模块,两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合;目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx,Y方向的尺寸为Ly,LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1,Y方向的尺寸为Ly1;若Lx<Ly,所需LED光源模块的数量N=Lx/Lx1,滑动基板的滑动方向与Y方向相同;若Lx>Ly,所需LED光源模块的数量N=Ly/Ly1,滑动基板的滑动方向与X方向相同。该曝光装置利用相互错开排列的LED光源模块扫描形成大面积均匀的照明光斑,降低了成本。
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公开(公告)号:CN211180355U
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN201922299810.2
申请日:2019-12-19
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G02B7/02
摘要: 本实用新型涉及一种预应力可调节的薄膜夹持机构,属于工装夹具领域。具体包括均为环形结构的下底板、固定环以及上压板;固定环对应设置在下底板的上端面处并通过紧固件与下底板间可拆卸连接紧固,上压板设置在固定环的上方且其通过可调节螺栓与下底板相连,位于上压板与下底板之间的可调节螺栓上套有压缩弹簧,上压板上具有环形并朝向下底板伸出用于顶压薄膜的压顶部。该机构能够针对平面薄膜透镜进行夹持和设置预应力,绷紧并设置预应力的薄膜受力和变形量均匀,无需额外主动驱动,结构简单,安装调整快捷,操作方便,可随时调整且夹持稳定性好。
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公开(公告)号:CN207337074U
公开(公告)日:2018-05-08
申请号:CN201721422921.2
申请日:2017-10-31
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本实用新型公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置,包括滑动基板,滑动基板上固定有LED光源模块,两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合;目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx,Y方向的尺寸为Ly,LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1,Y方向的尺寸为Ly1;若Lx<Ly,所需LED光源模块的数量N=Lx/Lx1,滑动基板的滑动方向与Y方向相同;若Lx>Ly,所需LED光源模块的数量N=Ly/Ly1,滑动基板的滑动方向与X方向相同。该曝光装置利用相互错开排列的LED光源模块扫描形成大面积均匀的照明光斑,降低了成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207316519U
公开(公告)日:2018-05-04
申请号:CN201721467007.X
申请日:2017-11-06
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 张家港奇点光电科技有限公司
摘要: 本实用新型公开了一种用于曝光机的阵列光源照明装置,包括LED光源,LED光源包括固定底板和灯珠组件,LED灯珠组件包括基板、固定于基板上的LED灯珠和灯罩透镜,灯罩透镜包括通过固定结构可拆卸固定的准直透镜和收集透镜,收集透镜设置于准直透镜的出光侧,LED灯珠组件的前方依次设置有聚焦透镜、匀光棒、倍率放大镜头组和曝光接收面,聚焦透镜将光汇集至匀光棒的入射端面,匀光棒为锥形匀光棒,匀光棒的入射端面的面积大于出射端面的面积,倍率放大镜头组将匀光棒出射端面发出的光线放大后成像于曝光接收面上。该阵列光源照明装置利用LED阵列光源用于曝光机,能够提供光斑均匀的曝光面,结构更加紧凑,成本更低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN206573849U
公开(公告)日:2017-10-20
申请号:CN201621185518.8
申请日:2016-10-28
申请人: 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本申请公开了一种UV-LED光源、系统及平行曝光机,该UV-LED光源,包括UV-LED灯珠、以及覆盖于所述UV-LED灯珠上的自由曲面准直透镜,所述UV-LED灯珠射出的紫外光线通过所述自由曲面准直透镜产生平行光束。本实用新型UV-LED光源系统通过UV-LED灯珠阵列射出的紫外光线,在UV-LED灯珠阵列上使用自由曲面准直透镜产生平行光束,且每个自由曲面准直透镜一一对应覆盖于UV-LED灯珠阵列中的单个灯珠上,解决了光源发散角度大的问题;自由曲面准直透镜的应用提高了平行光线的均匀度和平行度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN205844740U
公开(公告)日:2016-12-28
申请号:CN201620741780.X
申请日:2016-07-14
申请人: 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本实用新型公开了一种紫外LED曝光模组,它包括照射在目标面上的至少两个紫外LED照射模块,所述紫外LED照射模块包括由紫外LED灯珠阵列组成的紫外LED光源模组和复眼透镜模组,所述复眼透镜模组沿紫外LED光源模组照射的方向平行设在紫外LED光源模组的前方,所述紫外LED灯珠阵列的每个单元包括设在一基板上的紫外LED灯珠、紧密贴合并罩在设有紫外LED灯珠的基板上的预准直透镜。本实用新型至少具有结构简单、成本低、寿命长、稳定性好、均匀度高、利用率高等优点。
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