钴基合金化学镀液以及使用该化学镀液的化学镀法

    公开(公告)号:CN101336309B

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN200680051913.X

    申请日:2006-12-28

    CPC classification number: C23C18/1834 C23C18/34 C23C18/50 Y10T428/31678

    Abstract: 本发明提供一种钴基合金化学镀液,其包含钴前驱体、钨前驱体、磷前驱体、还原剂、络合剂、pH调节剂和稳定剂,其中所述还原剂为二甲胺硼烷(DMAB)或氢硼化物,并且所述稳定剂为选自由咪唑、噻唑、三唑、二硫化物以及它们的衍生物组成的组中的一种或多种化合物;以及使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法,和通过该法制备的薄膜。根据本发明,所述钴基合金镀液对于长期重复使用足够稳定,且通过抑制沉淀生成避免金属薄膜质量的劣化。本发明进一步提供使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法,和通过该法制备的钴基合金薄膜。

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