含酚羟基树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109790264B

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN201780060031.8

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明目的在于,提供流动性优异、固化物的耐热性及耐干蚀刻性高的含酚羟基树脂、含有其的固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供如下的含酚羟基树脂,其为下述结构式(1)(式中X表示碳原子数1~14的烃基。R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者。m为0、1或2,n为0或1~4的整数。)所示的双萘酚化合物(a1)与氰脲酰卤(a2)的反应产物,且多分散系数(Mw/Mn)为1.01~1.30的范围。

    含酚羟基树脂、感光性组合物、抗蚀膜、固化性组合物和固化物

    公开(公告)号:CN113348188A

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN201980089823.7

    申请日:2019-12-17

    Abstract: 以提供具有高耐热性且用作抗蚀材料时显示优异碱显影性的含酚羟基树脂作为课题,提供一种含酚羟基树脂,其是酚醛清漆型酚醛树脂(C)与醇化合物(X)的反应产物,所述酚醛清漆型酚醛树脂(C)以下述式(1)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)作为必须的反应原料。式(1)中,R1和R2为碳原子数1~9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m、n和p为0~4的整数。R3为氢原子、碳原子数1~9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。R4为羟基、碳原子数1~9的脂肪族烃基、烷氧基或卤素原子。

    酚醛清漆型树脂及抗蚀膜
    53.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108368214A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201680071738.4

    申请日:2016-11-17

    CPC classification number: C08G8/28 C08L61/12 G03F7/039

    Abstract: 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物及抗蚀膜。一种酚醛清漆型树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中,Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子中的任意者,m各自独立地为1~3的整数。X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。]所示的结构部位作为重复单元,树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。

    抗蚀永久膜用固化性组合物及抗蚀永久膜

    公开(公告)号:CN107111229A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201580073572.5

    申请日:2015-11-19

    Inventor: 今田知之

    Abstract: 提供一种在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物、使用该固化性组合物得到的抗蚀永久膜。具体而言,提供一种抗蚀永久膜用固化性组合物、使该组合物固化而成的抗蚀永久膜,所述抗蚀永久膜用固化性组合物含有:具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)和、感光剂(B1)或固化剂(B2)(式(1)中,R1为氢原子、烷基或芳基,n为2~10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者,m为0~4的整数。m为2以上时,多个R2可以彼此相同,也可以不同,且可以键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上。)

    抗蚀剂下层膜形成用感光性组合物及抗蚀剂下层膜

    公开(公告)号:CN107003612A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580065831.X

    申请日:2015-11-10

    Inventor: 今田知之

    Abstract: 提供干式蚀刻耐受性及耐热性优异、碱溶解性的控制容易的抗蚀剂下层膜形成用感光性组合物、及抗蚀剂下层膜。具体而言,提供一种抗蚀剂下层膜形成用感光性组合物,其含有:使选自由下述通式(1)所示的化合物及下述通式(2)所示的化合物组成的组中的1种以上酚系三核体化合物(A)与醛类(B)在酸催化剂下进行反应而得到的酚醛清漆型酚醛树脂。[式中,R1、R2及R3各自独立地表示任选具有取代基的碳原子数1~8的烷基,R4表示氢原子、任选具有取代基的烷基或任选具有取代基的芳基,p及q各自独立地为1~4的整数,r为0~4的整数,s为1或2。其中,r与s的和为5以下。]

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