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公开(公告)号：CN104284290B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201410331308.4
申请日：2014-07-11
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·德厄
IPC: H04R31/00
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/0094 , B81B7/0016 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , H01L2224/48137 , H01L2224/8592 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152
Abstract: 本发明公开了一种具有MEMS结构和在支撑结构中的通风路径的装置，该装置包括：支撑结构；设置在支撑结构中的声音端口；以及包括声学地耦合至声音端口的隔膜的MEMS结构。隔膜将接触隔膜的第一侧的第一空间与接触隔膜的相对的第二侧的第二空间分隔开。装置进一步包括设置在支撑结构中并且从声音端口延伸至第二空间的可调通风路径。
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公开(公告)号：CN104891423B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201510098301.7
申请日：2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·德厄 , M·F·M·巴斯塔劳斯
CPC classification number: H04R19/04 , B81B2201/0257 , B81C1/00182 , H01L2224/16145 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R19/005 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明涉及不具有背板的双隔膜MEMS麦克风，具体公开了一种传感器结构。该传感器结构包括第一悬置结构和被配置为与第一悬置结构分离以形成空间的第二悬置结构。第一悬置结构和第二悬置结构可相对于彼此配置，使得接收的进入第一悬置结构和第二悬置结构之间的空间的压力波生成第一悬置结构朝第一方向的位移和第二悬置结构朝不同于第一方向的第二方向的位移，并且位移可生成可测量的信号。
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公开(公告)号：CN106167246A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201610311685.0
申请日：2016-05-11
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R1/023 , H04R1/086 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R31/00 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 在各个实施例中，提供了一种微机电系统装置。该微机电系统装置可以包括：载体；粒子过滤器结构，该粒子过滤器结构耦合至载体，该粒子过滤器结构包括网格，其中网格包括多个网格单元，每个网格单元包括至少一个通孔；以及微机电系统结构，该微机电系统结构设置在粒子过滤器结构的与载体相对之侧。多个网格单元的高度大于对应网格单元的宽度。
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公开(公告)号：CN104902412A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510098513.5
申请日：2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: G01L1/14 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01R29/12
Abstract: 公开了一种换能器结构，该换能器结构包括具有开口的载体和悬挂结构，该悬挂结构被装配在载体上并且至少部分地在该载体的开口之上延伸。该换能器结构可进一步包括，将该悬挂结构配置为通过改变悬挂结构和载体之间的距离，在悬挂结构和载体之间提供静电场。可替换地，该悬挂结构可被配置为响应于被提供在悬挂结构的部分和载体之间的静电力，改变悬挂结构和载体之间的距离。
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公开(公告)号：CN104568757A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410539398.6
申请日：2014-10-13
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 一种用于分析气体的光声气体传感器设备包含发射器模块和压敏模块。发射器模块被布置在载体基板上并且发射光脉冲。压敏模块被布置在载体基板上参考气体空间内。参考气体空间与旨在填充有待分析气体的空间分离。进一步地，压敏模块生成指示关于通过由发射器模块发射的光脉冲与参考气体空间内的参考气体相互作用引起的声波的信息的传感器信号。另外，发射器模块被布置成使得由发射器模块发射的光脉冲在穿过旨在填充有待分析气体的空间之后到达参考气体空间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104254046A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410289575.X
申请日：2014-06-24
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/0021 , B81B3/0078 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , H04R7/02 , H04R7/08 , H04R19/005 , H04R23/006 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H04R2410/03
Abstract: 一种MEMS麦克风，包括第一振膜元件、对电极元件、以及在第一振膜元件与对电极元件之间的低压区。低压区具有比环境压强更小的压强。
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公开(公告)号：CN102082988B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201010569198.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R31/00 , H01L2224/48091 , H01L2924/10253 , H01L2924/1461 , H04R19/005 , H04R19/04 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及MEMS麦克风封装以及MEMS麦克风模块。具体地，提供了一种用于制作麦克风模块的方法，包括：将MEMS麦克风结构件布置于第一基底的第一表面上，第一基底还包括与第一表面相反的第二表面。另外，罩被布置于第一基底的第一表面上使得罩和第一表面围封MEMS麦克风结构件。MEMS麦克风结构件的读出装置布置于第二基底的第一表面上，第二基底还包括与第一表面相反的第二表面。第一基底的第二表面与第二基底的第二表面附接。
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公开(公告)号：CN104053100A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410090491.3
申请日：2014-03-12
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R23/00 , B81B3/0018 , B81C1/00158 , H04R7/04 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R31/006 , H04R2307/023
Abstract: 一种MEMS声换能器，包括具有从中穿过的空腔，以及包括多个在衬底空腔上方进行延伸的传导穿孔背板部分的传导背板单元。布置在相邻的传导穿孔背板部分之间的背板单元上的电介质间隔体，以及由电介质间隔体所支撑并且在传导穿孔背板部分上进行延伸的一个或多个石墨烯薄膜。
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公开(公告)号：CN109279569B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201810805984.9
申请日：2018-07-20
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 根据一个实施例，用于双膜MEMS器件300的制造方法100包括以下步骤：在载体衬底210上提供120层布置200，其中层布置200具有彼此间隔的第一膜结构220和第二膜结构230以及布置在其间的反电极结构240，其中在反电极结构240与分别与该反电极结构间隔的第一膜结构和第二膜结构之间的中间区域260中布置有牺牲材料250，并且其中第一膜结构220具有朝向具有牺牲材料250的中间区域260的开口结构270；从中间区域部分去除140牺牲材料250，以获得在第一膜结构和第二膜结构之间的具有牺牲材料250的机械连接结构280，机械连接结构机械耦合到第一膜结构和第二膜结构之间并且与反电极结构机械解耦。
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