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公开(公告)号:CN105704629A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201410710074.4
申请日:2014-11-28
Applicant: 现代自动车株式会社
Abstract: 本发明提供一种麦克风及制造该麦克风的方法。所述麦克风包括具有贯通孔的衬底、设置在衬底上以覆盖贯通孔的振动单元和设置在振动单元的上方并与振动单元间隔开的固定电极。另外,振动单元包括设置在所述贯通孔上的第一部分和第二部分,以及设置在衬底上的第三部分。另外,第一部分与第三部分彼此间隔开,并且第二部分连接在第一部分与第三部分之间并包括第一压电部和第二压电部。
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公开(公告)号:CN104752172A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201410397404.9
申请日:2014-08-13
Applicant: 现代自动车株式会社
IPC: H01L21/20
CPC classification number: H01L21/50 , H01L21/185 , H01L21/30604 , H01L21/308
Abstract: 一种接合半导体衬底的方法,包括:在第一半导体衬底上形成对准键;在第二半导体衬底上形成第一突起和第二突起,以及位于第一突起与第二突起之间的对准槽;分别在第一突起和第二突起上形成第一金属层和第二金属层;以及接合第一半导体衬底和第二半导体衬底,其中当第一半导体衬底与第二半导体衬底接合时,对准键定位于对准槽。
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