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公开(公告)号：CN114815333B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202210568818.8
申请日：2022-05-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于MEMS声光器件技术领域，公开了一种基于SOI的兰姆波声光调制器，包括SOI平台、波导组件和压电组件，波导组件集成在SOI平台上，SOI平台经刻蚀后形成有空腔，压电组件位于空腔的上方，压电组件激发产生的兰姆波经SOI平台传递至波导组件。本发明将用于激发产生兰姆波的压电组件与波导组件结合，采用更高频率范围的兰姆波代替表面波进行调制，结合设置的空腔能够实现更大的频率调制范围和更高的调制效率，基于SOI平台，有着更好的集成潜力，本发明能实现高灵敏度与多频段调制。
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公开(公告)号：CN118808691A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410799129.7
申请日：2024-06-20
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种带有声表面波传感器的刀具、刀具应力监测方法和系统，刀具包括带有固定孔的刀头和设有固定部的刀柄，固定孔包括第一受力面和第二受力面，第一受力面与刀头z方向的切削力平行，第二受力面与刀头y方向的给进力平行；第一受力面和第二受力面分别设置有第一预埋孔和第二预埋孔，第一预埋孔和第二预埋孔安装有声表面波传感器。本发明在刀头的固定孔中与刀头z方向的切削力平行和与刀头y方向的给进力平行的受力面分别设置第一预埋孔和第二预埋孔，在第一预埋孔和第二预埋孔中安装声表面波传感器，不仅可以同时测量刀具两个方向上的应力，声表面波传感器埋设于刀头内可以使得测量结果更精确的同时还能隔绝外部环境保护传感器。
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公开(公告)号：CN118424536A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410441414.1
申请日：2024-04-12
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种检测螺栓预紧力的方法和系统，方法包括，在弹簧垫片上安装薄膜体声波谐振器，将螺栓和弹簧垫片与被固定物体进行固定，使得薄膜体声波谐振器与被固定物体接触；根据实验获取螺栓预紧力与薄膜体声波谐振器的谐振频率的关系，以及薄膜体声波谐振器的谐振频率与其有效机电耦合系数的关系，得到螺栓预紧力与薄膜体声波谐振器的有效机电耦合系数的关系；根据薄膜体声波谐振器的谐振频率获取相应的有效机电耦合系数，从而得到螺栓预紧力。本发明将螺栓预紧力转换为薄膜体声波谐振器压电层的应变使薄膜体声波谐振器产生频偏，通过测频偏得到有效机电耦合系数，进而得到被测的螺栓预紧力。本发明的测量方法具有简便、灵敏度高的优点。
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公开(公告)号：CN118424374A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410392338.X
申请日：2024-04-02
Applicant: 武汉大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用，传感系统包括压电基底、叉指电极、第一反射栅、第二反射栅和质量块；压电基底由下至上包括带有凹槽的衬底和压电层，压电层和衬底形成空腔；叉指电极位于压电基底顶端且环绕空腔设置，叉指电极包括第一插指电极和第二插指电极；第一反射栅和第一插指电极构成谐振型声波传感器；第二反射栅和第二插指电极构成延迟线性型声波传感器，第二反射栅平行于第一反射栅且靠近空腔设置；质量块设置于压电基底顶端且位于空腔上部区域内。本发明能在提高检测灵敏度的同时，通过二维解耦实现力和温度的同时测量。
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公开(公告)号：CN118264968A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410454086.9
申请日：2024-04-16
Applicant: 武汉大学
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明公开了一种小型化压电式微机电系统麦克风及其制作方法，麦克风包括衬底、压电结构、引出电极、封装结构和ASIC芯片；衬底带有凹槽，压电结构设于衬底上端与凹槽形成背腔；压电结构包括压电叠层以及压电叠层内的底电极和顶电极，压电叠层还设有直达背腔的释放槽，引出电极设置于压电叠层内，底电极和顶电极通过引出电极引出，背腔正上方的压电结构为麦克风；ASIC芯片设于压电结构顶端；封装结构包括相连的封装端和连接端，封装端将释放孔和麦克风封装在内，麦克风上部与所述封装端构成麦克风前腔，引出电极通过连接端与ASIC芯片的输入电极连接。本发明相对于市面产品具有体积小、集成化程度高的特点，并提高了电气连接可靠性，降低连接的损耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115886754A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211260250.X
申请日：2022-10-14
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了压电针式PMUT的血压监测装置。该血压监测装置包括：一压电传感器模块，其包括依次叠设的衬底、传感器阵列层和封装层，PMUT器件至少部分凸出于封装层的表面，PMUT器件包括依次叠设的压电层和电极层，压电层覆于衬底的顶面，压电层覆于封装层的底面；CMOS电路模块，与压电传感器模块集；可穿戴式装配体，供压电传感器模块、CMOS电路模块安装并用以提供穿戴功能。其中压电传感器模块检测到脉搏并将机械能转换成电能，输出电荷经过数据处理模块，通过动脉脉冲的压电动力学原理，由微处理单元将输出电压波形转换成血压值输出，即可完成血压实时监测功能。本装置操作简单，测量精确，可批量化生产。
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公开(公告)号：CN110784188B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201910988112.5
申请日：2019-10-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供了谐振器及其制备方法，能够有效地解决晶格失配问题，可以极大地提高谐振性能。本发明提供的谐振器，包括：衬底，形成有通孔，和从衬底的背部向着顶部延伸、并且贯穿衬底的凹槽；谐振结构，包括：形成在衬底顶面上的单晶氮化物缓冲层，形成在缓冲层上的准单晶氮化物压电层，形成在压电层上的顶电极，形成在衬底背面上、并且延伸至凹槽中与缓冲层相接触的底电极，形成在衬底背面未设置底电极的区域上、并且贯穿衬底、缓冲层、和压电层而与顶电极相接触的引出电极，以及形成在底电极下表面和引出电极上的电极板；和真空封装结构，对衬底及谐振结构位于衬底顶面上的部分进行真空封装，其中，缓冲层和压电层采用同一种氮化物材料。
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公开(公告)号：CN114839397A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210344926.7
申请日：2022-03-31
Applicant: 武汉大学
Abstract: 一种基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法，涉及微光机电系统(MOEMS)中的惯性器件领域。该传感器包括含有空腔(20)的基底(10)，空腔(20)上表面为一层薄膜(30)；薄膜(30)下方附着有一个质量块(40)；顶层刻蚀有相互耦合的两组直波导(60)和四个微环谐振腔(50)，其中四个微环谐振腔(50)均位于空腔(20)上方的薄膜(30)上；直波导(60)则位于基底(10)上，每个直波导(60)具有一个入射端和两个出射端，每一个微环谐振腔(50)分别与一个出射端相耦合。该加速度计通过检测各个微环谐振腔谐振峰的改变来测量三个不同方向的加速度分量。
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公开(公告)号：CN114815333A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210568818.8
申请日：2022-05-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于MEMS声光器件技术领域，公开了一种基于SOI的兰姆波声光调制器，包括SOI平台、波导组件和压电组件，波导组件集成在SOI平台上，SOI平台经刻蚀后形成有空腔，压电组件位于空腔的上方，压电组件激发产生的兰姆波经SOI平台传递至波导组件。本发明将用于激发产生兰姆波的压电组件与波导组件结合，采用更高频率范围的兰姆波代替表面波进行调制，结合设置的空腔能够实现更大的频率调制范围和更高的调制效率，基于SOI平台，有着更好的集成潜力，本发明能实现高灵敏度与多频段调制。
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公开(公告)号：CN114466282A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210081612.2
申请日：2022-01-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种声学换能器及声学装置，涉及声学换能器技术领域，所述声学换能器包括：换能器压电层、换能器介质层和换能器质量块，所述换能器介质层设于所述换能器压电层的中部一侧，所述换能器质量块设于所述换能器介质层背离所述换能器压电层的一侧，所述换能器压电层在其两端位置和所述换能器质量块的两个肩部位置依次设有电连接的四个电极组：第一电极组、第二电极组、第三电极组和第四电极组。本发明基于固支梁的结构特性，在换能器压电层的中部设置换能器质量块，换能器质量块能够增加换能器压电层振动时的应力较大的区域面积，在压电效应下生成的电信号质量更高，即本发明的声学换能器灵敏度更高。
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