薄膜晶体管制造方法和显示装置

    公开(公告)号:CN101617408A

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200880005310.5

    申请日:2008-02-18

    Inventor: 佐野政史 林享

    Abstract: 在其中要在基板1上形成栅电极4的薄膜晶体管的制造方法中,该方法具有以下步骤:在基板1上形成栅电极4;以覆盖所述栅电极4的方式形成金属氧化物层7;形成源电极6和漏电极5;以及在惰性气体中实施退火,以将金属氧化物层7的一部分变成沟道区域。

Patent Agency Ranking