公开(公告)号：CN1752845A

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN200510105516.3

申请日：2005-09-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 花村政晓

IPC: G03F7/027 ,  G02F1/13

Abstract: 提供一种形成层间绝缘膜用的射线敏感性树脂组合物，其能够形成分辨率高，能够充分厚膜化，且透明性、耐热性、密合性、耐溶剂性等各种物性都优良的层间绝缘膜，并提供由该树脂组合物形成的层间绝缘膜。形成层间绝缘膜用的射线敏感性树脂组合物特征在于包括(A)将(a)10～50重量％含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、(b)20～60重量％含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及(c)5～40重量％其它聚合性不饱和化合物聚合所得的碱可溶性共聚物；(B)聚合性不饱和化合物；(C)光聚合引发剂；以及(D)偶合剂。层间绝缘膜由该形成层间绝缘膜用的射线敏感性树脂组合物形成。

公开(公告)号：CN1743913A

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：CN200510083519.1

申请日：2005-07-08

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 花村政晓

IPC: G02F1/1335

CPC classification number: G02B1/041 ,  C08L33/02 ,  C08L25/04

Abstract: 一种感放射线性树脂组合物，其特征是含有(A)聚合性混合物的碱可溶性聚合物，其包含(a)具有酸性官能基的聚合性不饱和化合物、(b)具有脂环式烃基且不具有酸性官能基的聚合性不饱和化合物及(c)其他的聚合性不饱和化合物，上述(a)、(b)和(c)成分的含量基于其总量分别为10～50重量％、20～60重量％和5～40重量％，(B)聚合性不饱和化合物、(C)光聚合引发剂以及(D)热聚合性化合物。该组合物用于形成微透镜。