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公开(公告)号:CN101004457A
公开(公告)日:2007-07-25
申请号:CN200710002044.8
申请日:2007-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种制造具有凹面部分的构件的方法包括:制备基底材料;在所述基底材料上形成掩模形成膜;通过使用分支滤光器的激光照射处理在所述掩模形成膜中形成多个开口;和刻蚀所述基底材料以在所述基底材料中形成所述凹面部分。所述分支滤光器将激光分成第一激光束和第二激光束。所述掩模形成膜的照射区域的每一个连续经过所述激光照射处理使得第一开口由第一激光束形成并且第二开口由第二激光束形成。所述照射区域的每一个具有这样的部分,在此不由对所述照射区域的激光照射处理的第一光束形成开口,而在一次或多次随后的激光照射处理中由第二激光束形成开口。在所述基底材料中,使用如下开口的一些形成检测用凹面部分,所述开口由在对指定的照射区域的激光照射处理中使用的第二激光束形成。
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公开(公告)号:CN1610253A
公开(公告)日:2005-04-27
申请号:CN200410088224.9
申请日:2004-10-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/02 , H03H2003/026 , Y10T29/42 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种压电谐振器的制造方法,包括在晶体所制成的基板上,形成具有板状的基部以及从该基部向一侧方向延伸的多个臂部的振动片的振动片形成工序(S001),以及给臂部的一面以及另一面照射激光,去除该激光照射部,使沟槽形成为在与该沟槽的长边方向垂直的面上所截取的截面具有给定的形状的激光照射工序(S002),以及在振动片上形成驱动电极的电极形成工序(S003)。这样,能够通过简单的工序高精度且短时间地形成所期望的沟槽的形状。
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公开(公告)号:CN1343542A
公开(公告)日:2002-04-10
申请号:CN01135758.4
申请日:2001-09-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/0676 , B23K26/067 , B23K26/38 , C03B33/076 , C03B33/093 , G02F1/133351
Abstract: 本发明提供一种能够精度良好地割断两张贴合的基板的激光割断方法及其装置。在使上基板25和下基板35通过密封材料24而贴合的面板26(或27)的两个表面的切断位置上预先形成划线,其中包括激光射出装置,在其两面的划线上分别照射激光,来割断面板26(或27),而得到产品尺寸的液晶面板28。
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