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公开(公告)号：CN211102144U
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201922041961.8
申请日：2019-11-22
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种水导激光柔性化微加工系统，包括光纤传输耦合单元、工作台单元和高压供液单元，光纤传输耦合单元包括光纤固定转接模块和光束耦合传输模块，光束耦合传输模块包括耦合体、上压头和下喷嘴座，光纤固定转接模块将柔性光纤的端头定中于上压头与下喷嘴座之间的液层腔，耦合体上的入水口连通液层腔，于下喷嘴座上设有喷嘴块，喷嘴块上的喷孔与下喷嘴座上的喷口连通；耦合体夹持在机器人的机械手上；高压供液单元输出的无级调压高压水经入水口汇集于液层腔形成低压稳流水；工作台单元包括三轴联动的工作台，工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上。本实用新型结构简单、紧凑和灵活，可实现工件多维度柔性化微加工。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209406997U
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201920050160.5
申请日：2019-01-11
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超声辅助激光水下清洗装置，清洗加工模块包括工件、水箱和平场聚焦透镜，工件放置于水箱内的水下，平场聚焦透镜设于水面上方；工作台模块包括可在X/Y向移动的平台，水箱放置于平台上；超声能量模块包括超声换能器，超声换能器附着于水箱上；其激光扫描模块包括振镜和多边形扫描反射镜，多边形扫描反射镜可转动的设于平场聚焦透镜上方，振镜对应于多边形扫描反射镜设置；振镜将入射激光束向多边形扫描反射镜反射，多边形扫描反射镜将入射激光束向平场聚焦透镜反射，平场聚焦透镜将两次反射的入射激光束转变为工作激光束打在工件上而产生空化气泡。本实用新型提高了清洗效率和效果，增加了工件的使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208322422U
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201820936246.3
申请日：2018-06-13
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/00 , B23K26/122 , B23K26/16 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种水下超声辅助激光加工装置，包括设于超声振动机构上的加工水槽以及设于加工水槽内的夹具，所述加工水槽一侧面上设有进水口，另一相对的侧面上设有出水口，所述出水口上设有可上、下调节加工水槽溢流高度的挡水板，所述加工水槽的溢流高度大于工件于夹具上的装夹高度；所述超声振动机构包括振动板和换能器，所述振动板安装于振簧组件上，所述振簧组件通过振动底座安装于阻水槽内，所述阻水槽设于集水槽内，所述换能器安装于振动板的底部。本实用新型既可以做流动水层加工实验，还可以做静水层加工实验，水层厚度调节方便。
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公开(公告)号：CN206084139U
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201620370348.4
申请日：2016-04-27
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/402 , B23K26/122 , B23K26/14
Abstract: 本实用新型为一种双激光加工水浸工件的系统，本系统产生波长1064nm的A激光的固体激光器和产生波长为10640nm的B激光的CO2气体激光器的激光头位于水箱上方，A激光束的中心线为铅垂线，B激光束的中心线与A激光束相交于A激光在工件上表面的焦点，二者交角为10‑30°，A和B激光的聚焦点相距数百微米。工作台高度可调节。工件表面水层厚度为1‑3毫米。激光击穿水产生冲击波作用于工件表面被局部软化的区域，去除软化的材料实现切槽加工。与激光熔切加工相比，本实用新型A激光的加热温度低于材料熔点，可降低局部过热的影响，保证加工成品质量。
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公开(公告)号：CN205290092U
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201521051987.6
申请日：2015-12-16
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/70
Abstract: 本实用新型为一种水下激光加工的液层稳定装置，工件水槽顶面有开口，水平玻璃板覆盖于顶面开口，位于工件水槽内的顶面固定工件的工作台处于顶面开口下方。进、出水口的上缘与工件水槽顶面相切。进水在玻璃板底面和工件的上表面之间形成流动的液层。工作台为可调节升降工作台，以调节液层厚度。储水罐的底面与进水口的下缘处于同一水平面上，进水管与之连通，储水罐的容积大于工件水槽容积。玻璃板可推移至工件水槽顶面的一侧，以露出顶面开口，方便工件装卸。出水管经过滤器接入回收水槽，后者的泵将水回接储水罐。本装置玻璃板使液层稳定可调，提高激光加工质量；储水罐水面高度调控节液层水流速度，方便选择确定激光加工的参数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209349685U
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201822227155.5
申请日：2018-12-27
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/04 , B23K26/046 , B23K26/38 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种水导激光加工装置，其光束传输耦合单元包括激光头和相连的旋转套筒、入水腔体、中间腔体、耦合块，激光头上部同轴旋合于旋转套筒，激光头下部置于入水腔体和中间腔体内并对应于耦合块上开设的液层腔，激光头下部内的光束变换腔底部设有自聚焦透镜和球透镜，球透镜通过液层腔与耦合块上开设的喷嘴相对；其高压供液单元输出的高压水经入水腔体、中间腔体和耦合块三级分流后汇集于液层腔形成低压稳流水；其工作台单元设于喷嘴下方，包括三轴联动的工作台，工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上，水槽通过回流管连通高压供液模块。本实用新型提高了光束的传输稳定性，降低了聚焦光束耦合水束光纤调节的难度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208390517U
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201820517464.3
申请日：2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型为一种射流激光复合清洗系统，本清洗系统包括空化射流装置、激光清洗装置；激光束和空化射流的中心线共面异轴，空化射流于工件表面产生水膜，激光束聚焦于水膜内与工件表面保持距离，空化射流冲击工件基材表面，产生水膜、水膜空化泡破溃冲击清洗基材表面，同时激光聚焦于水膜内，水膜在超热状态爆发沸腾、剧烈汽化，产生蒸汽泡冲击基材表面，延长空化射流的有效作用时间。激光束和空化射流协同作用于工作台上的工件表面进行清洗，效果明显优于现有清洗技术，可清除工件表面直径大于50nm的固体颗粒，满足晶圆基材表面加工要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206105148U
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201621176158.5
申请日：2016-10-27
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/362 , B23K26/146
Abstract: 本实用新型为一种自聚焦激光加工装置，夹持机构在透镜和工作台之间固定一个盛放非线性介质的容器。激光束经透镜聚焦于非线性介质的表面，透镜聚焦后的光束进入非线性介质其中传递产生自聚焦，经透镜和非线性介质的两次聚焦，离开容器的激光束直径极小，直线传播到达工件表面。容器内非线性介质的深度，即自聚焦距离L与激光束的能量及所采用的非线性介质的折射率有关。还配有水射流辅助装置，工件表面激光聚焦点和射流喷射点中心重合。在工件表面水射流的冲击带走激光去除的残渣和热量。透镜聚焦与自聚焦相结合，减少激光束直径近一半，提高激光束能量密度。自聚焦后激光准直传递，发散角小，有利纵深刻蚀，增加加工的深度，保证刻蚀精度效率。
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公开(公告)号：CN205290072U
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201521030397.5
申请日：2015-12-11
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/146
Abstract: 本实用新型提供一种用于水辅助激光加工的装置，包括水腔体，设于水腔体上的注水口和出水口，所述注水口位于出水口的上方，且注水口的面积大于出水口的面积，所述水腔体设置为封闭结构，该水腔体包括可隔绝空气的上板面，所述上板面上设有可推拉的水窗。本实用新型结构简单、易于实现，封闭的结构有效避免空气对水层施压产生波纹的现象，注水口与出水口的合理设置保证水流速稳定，从而加工件的质量和精确度高，值得广泛推广。
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公开(公告)号：CN204867284U
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201520530471.3
申请日：2015-07-21
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开一种可拆卸的铆钉枪杆，包括枪杆本体，所述枪杆本体包括枪杆首节、若干枪杆中节、枪杆末节，节与节之间通过连接端配合连接的连接块里的半销钉连接。本实用新型结构简单、易于制造，可灵活方便枪杆的长度、适用范围广，且节与节之间连接稳固、不会转动，易于作用力的有效传递。
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