使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法

    公开(公告)号:CN112889134B

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN201980053527.1

    申请日:2019-11-04

    Abstract: 本发明提供了一种使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法,通过该等离子体蚀刻方法能够有效地产生具有火焰形状的图案部。使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法包括以下步骤:通过在蚀刻基板的一个表面上执行第一等离子体蚀刻,以在通过金属掩模暴露的蚀刻基板的一个表面的部分区域上形成第一图案部;以及去除金属掩模,以使蚀刻基板的该一个表面相对于法拉第笼的底表面倾斜的同时将蚀刻基板的该一个表面放置于包括在其上表面上形成的网状部的法拉第笼中;以及进行第二等离子体蚀刻以将第一图案部形成为具有火焰形状的第二图案部。

    衍射导光板和制造衍射导光板的方法

    公开(公告)号:CN111033118B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201880052560.8

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 本发明提供了厚度和重量减小的衍射导光板及其制造方法。具体地,提供了衍射导光板及其制造方法,所述衍射导光板包括第一衍射基底和设置在所述第一衍射基底上的第二衍射基底,其中:所述第一衍射基底包括在其一个表面上的第一衍射光栅层和在其另一个表面上的第二衍射光栅层;所述第二衍射基底包括在其一个表面上的第三衍射光栅层;所述第一衍射光栅层分离波长为550nm至700nm的光;所述第二衍射光栅层分离波长为400nm至550nm的光;以及所述第三衍射光栅层分离波长为450nm至650nm的光。

    低折射层和包括其的抗反射膜

    公开(公告)号:CN110031919A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201910181380.6

    申请日:2016-08-18

    Abstract: 本发明涉及低折射层和包括其的抗反射膜。低折射层可以同时表现出优异的光学特性例如低反射率和高透光率以及优异的机械特性例如高耐磨性和耐刮擦性,并且不会不利地影响形成低折射层的聚合物树脂的颜色。特别地,由于优异的耐碱性,低折射层即使在碱处理之后也可以保持优异的物理特性。因此,当向显示装置引入低折射层时,预期可以简化生产过程,并且可以进一步显著提高生产速率和生产力。

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