公开(公告)号：CN103635987A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201280032123.2

申请日：2012-04-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 竹内秀一 ,  高须久幸 ,  金子朝子

IPC: H01J37/20 ,  B23K15/00 ,  G01N1/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/3005 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明提供一种无需在带电粒子线装置中另行设置别的装置且在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工的装置以及方法。在带电粒子线装置的真空室内配置填充有离子液体的液池和超声波振动单元，并在离子液体和试料的加工对象区域接触的状态下，使超声波振动向离子液体中传播而加工试料。无需在带电粒子线装置另行设置别的装置且能够在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工，因此提高生产量并且防止空气的影响。