-
公开(公告)号:CN101517119A
公开(公告)日:2009-08-26
申请号:CN200780035149.1
申请日:2007-12-21
Applicant: 日立金属株式会社
CPC classification number: C23C14/06 , C10M103/02 , C10M103/06 , C10M177/00 , C10M2201/0413 , C10M2201/061 , C10M2201/0613 , C10N2210/04 , C10N2230/06 , C10N2240/402 , C10N2250/08 , C10N2250/141 , C10N2270/00 , C10N2280/00
Abstract: 本发明旨在提供一种具有优异润滑特性的硬质涂膜;用于形成该硬质涂膜的方法;以及用于金属塑性加工的工具,并且提供一种覆盖即将与其它构件接触的基底表面的硬质涂膜,其中具有碳-碳键的碳原子以10原子%以上的量存在。优选的是,硬质涂膜含有碳化钛,同时优选在基底的表面和硬质涂膜之间形成氮化钛涂层。本发明还提供一种用于通过电弧离子电镀在基底的表面上形成硬质涂膜的方法,所述方法包括:在使用金属靶的情况下,在电弧离子电镀过程中引入烃气,这使得可以在基底的表面上形成涂膜,并且在所述涂膜中,具有碳-碳键的碳原子以10原子%以上的量存在。优选地,在引入烃气之前,引入氮气以在基底的表面上形成金属氮化物层。此外,本发明提供其加工表面上覆盖有所述硬质涂膜的金属塑性加工用工具。