公开(公告)号：CN104755885A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201380056445.5

申请日：2013-10-09

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 松本昌大 ,  中野洋 ,  半泽惠二 ,  浅野哲

IPC: G01F1/68 ,  G01F1/696 ,  G01R31/02

CPC classification number: G01F1/696 ,  G01F1/698 ,  G01F25/0007 ,  G01R31/025

Abstract: 在从构成电桥电路的电阻的两端获取电压的2根配线间与上述电阻并联地连接有电路元件的结构中，难以检测上述2根配线的断线。在包括发热体(2)和由多个电阻(4～8)构成电桥电路且控制发热体(2)的温度的温度控制用电桥电路(3)的热式流量计中，包括：通过从构成温度控制用电桥电路(3)的至少一个电阻(7)的两端部引出的2根配线(L2、L3)与电阻(7)并联连接的电路元件(15)；检测在2根配线(L2、L3)之间产生的电压的大小是否比第一规定值小的电压检测电路(17)；和在由电压检测电路(17)检测出所述电压的大小比第一规定值小的情况下输出表示故障的信号的故障信号输出电路(20)。

公开(公告)号：CN103649694A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201180072233.7

申请日：2011-07-13

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 松本昌大 ,  中野洋 ,  半泽惠二 ,  浅野哲

IPC: G01F1/692

CPC classification number: G01F1/34 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/692 ,  H01L2224/48247

Abstract: 本发明提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。该流量计包括：具有形成有发热体的隔膜的硅基板；由形成在上述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜；层叠在上述硅基板上的有机保护膜；和覆盖上述硅基板的模压树脂，其中，上述隔膜具有从上述有机保护膜露出的露出部，上述硅基板层叠有与上述模压树脂密合性高的密合膜，在上述露出部与上述铝膜之间具有上述模压树脂与上述密合膜的接合面。

公开(公告)号：CN103380353A

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201180067266.2

申请日：2011-03-02

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 中野洋 ,  松本昌大 ,  浅野哲 ,  半泽惠二

IPC: G01F1/692

CPC classification number: H01L29/66992 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/692 ,  G01F5/00

Abstract: 本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理，从而提高传感元件的灵敏度，并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计，具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，其中，在形成上述薄膜部后，进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。

公开(公告)号：CN102620853A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210018140.2

申请日：2012-01-19

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 松本昌大 ,  中野洋 ,  半泽惠二 ,  浅野哲

IPC: G01K7/22 ,  G01F1/68

CPC classification number: G01K13/02 ,  G01F1/00 ,  G01F1/68 ,  G01F1/6888 ,  G01F5/00 ,  G01F15/185 ,  G01K1/20 ,  G01K7/42 ,  G01K2013/024 ,  G01K2205/02

Abstract: 本发明提供一种能够以高精度高速地检测出吸气温度的吸气温度传感器及具有该吸气温度传感器的热敏式空气流量计。本发明涉及的吸气温度传感器包括：取入吸气流的副通路(7)；配置在副通路(7)的内部的流量检测元件(13)；设置在副通路的外部的吸气温度检测元件(4)；对吸气温度检测元件(4)的安装部的温度进行检测的温度传感器(9)；配置在框体内部的电路基板(11)；根据温度传感器(9)及流量检测元件(13)的输出信号对吸气温度检测元件(4)的输出进行补正处理的集成电路(10)。