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公开(公告)号：CN1577761A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410069947.4
申请日：2004-07-14
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67132 , H01L21/67092
Abstract: 接合辊轮在加强基片表面上滚动，由中间和侧向闭锁爪夹持加强基片，它对着放置和固定在夹持台上的晶片，条件是胶粘片附着在晶片表面上，从而可进行接合作业。当接合辊轮滚动时，两闭锁爪向下摆动，闭锁爪它们本身向下移动，同时，保持加强基片弯曲的大致稳定，而当接合辊轮接近闭锁爪时缩回。
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