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公开(公告)号：CN212133073U
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202020676208.6
申请日：2020-04-28
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种甩干机气动密封装置，涉及密封装置领域，一种甩干机气动密封装置，包括筒体，所述筒体上端面敞开，下端面封闭，密封门安装在筒体的上端面，所述密封门侧壁内设置有环形的凹槽，密封圈安装在凹槽内，密封圈内设有空腔；所述密封门上设有进气口，所述进气口通过管路与密封圈内部空腔连通，当密封圈处于膨胀状态时，所述密封圈膨胀延伸挤压在筒体的内壁，所述进气口与空腔之间的管路上设置有单向阀，所述单向阀设置于进气口处；单向阀通过端盖固定于密封门上。本实用新型成本低，操作简单，在甩干机运行过程中能够保持良好的密封性能。
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公开(公告)号：CN212041628U
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202020605801.1
申请日：2020-04-21
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种清洗干燥工艺及其纯水式工艺的互换机构，包括第一传输辊，所述第一传输辊一侧安装有IPA清洗干燥箱，所述定位板底端滑动连接有活动板，所述活动板底端两侧焊接有推送块，所述IPA清洗干燥箱顶端中部安装有气缸，工件通过第一传输辊进入IPA清洗干燥箱中的镍网放置板上，通过限位板限制工件的惯性运动，然后进行或跳过慢拉机构带动工件进行IPA清洗干燥，完成后通过气缸带动活动板下移，此时限位板下移，使推送块下移至工件一侧，通过丝杆转动带动推送块运动将工件推送至第二传输辊上，从而便于工件进行IPA清洗干燥或纯水清洗干燥过程的传输与互换。
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公开(公告)号：CN211766989U
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202020206098.7
申请日：2020-02-25
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，包括支撑框架(2)、多个定位装置(1)、多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)设置在支撑框架(2)上用于实现与硅片花篮(5)的连接定位，所述支撑框架(2)包括一中间支架(2-1)，所述中间支架(2-1)上设置有所述多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)和多个间隔柱(3)位于支撑框架(2)的同一侧。本实用新型的高效防黏粘的薄硅片隔片装置可配合设置在硅片花篮上，其上的多个间隔柱正好隔在薄硅片之间，硅片之间就不会因为水的拉力而互相粘黏在一起，同时由于设置多个间隔柱可使得花篮硅片盛放效率提高了一倍。
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公开(公告)号：CN211740433U
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202020676214.1
申请日：2020-04-28
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种快速升降温设备单点测温装置，具体涉及测温装置领域，包括硅片，所述硅片上设有凹槽，所述凹槽横截面呈凸型结构，所述凹槽底部设有测温热偶探头，所述测温热偶探头上设有测温热偶线，所述凹槽内填充有高温胶，将所述测温热偶探头和测温热偶线固定在所述凹槽内，且所述高温胶填充高度凸出于所述凹槽上端。本实用新型可解决测温装置的测温热偶与硅片接触牢靠，不易脱落，延长使用寿命，节约成本等问题。
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公开(公告)号：CN211716872U
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202020206100.0
申请日：2020-02-25
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司 , 南京理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种低功率快速的氮气加热装置，包括加热棒套管(4)、加热棒(9)、氮气入口管(1)、氮气出口管(7)、翘片散热装置(5)，所述加热棒(9)位于加热棒套管(4)内，所述翘片散热装置(5)设置在加热棒(9)的外表面上且位于加热棒(9)与加热棒套管(4)之间，所述氮气入口管(1)和氮气出口管(7)分别与加热棒套管(4)的两端连通。本实用新型在加热棒上采用螺旋翅片，提高了散热面积，在带有加热翅片的加热棒外，安装一个外壳套管，形成一个封闭的螺旋型腔，保证氮气N2通过时形成螺旋运动，增加了与翅片的接触面积，同时提高与翅片的接触时间，保证了加热效率和速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN211265440U
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202020205785.7
申请日：2020-02-25
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本实用新型公开了一种超薄硅片多点接触的顶片装置，包括底座(2)和四个顶片(1)，所述四个顶片(1)位于底座(2)的上表面上，每个所述顶片(1)的顶部倒有圆角，四个所述顶片(1)两两对称平行设置在底座(2)的上表面上。本实用新型增加了顶片装置和硅片的接触点，由原来的单点接触变为四个点接触，顶片的顶部倒有圆角，该机构对硅片损伤小、结构更加合理，不易碎片，整个工作过程相对比较稳定。
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公开(公告)号：CN210242074U
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201921150503.1
申请日：2019-07-22
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
IPC: F25B21/02
Abstract: 本实用新型提供一种化剂制冷装置，具体涉及到制冷技术领域。本实用新型包括冷却箱；冷却箱的侧壁上分别设有进液孔和出液孔；冷却箱的上端和下端分别设有导热板，导热板与所述冷却箱之间组成腔室；导热板的外侧设有散热板；散热板与导热板之间设有半导体制冷片。本实用新型提出的一种化剂制冷装置，能够实现高效的冷却效率。
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公开(公告)号：CN221982792U
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202420059615.0
申请日：2024-01-10
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
IPC: B05B13/02
Abstract: 本实用新型公开一种半导体加工用镀膜设备，包括机台，机台顶端固定有机罩，机罩顶端固定有气缸，气缸底端通过横移机构固定有吊板，吊板底端等距固定有镀膜喷头；本实用新型通过在底板顶端两侧的加工台上滑动连接呈对称分布的支撑板，并在两组支撑板相对一侧设置用于半导体装夹的夹板，从而可以通过机台内部两侧的取卷机驱动底板顶端的两组加工台轮流移动至机罩内的镀膜喷头下方，并对加工台上方装夹的半导体进行喷射镀膜，从而使该镀膜设备能实现对多组半导体的连续镀膜加工，减少了不必要的半导体装夹等待时间，一定程度上提高了镀膜加工效率。
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公开(公告)号：CN219717460U
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202320097499.7
申请日：2023-02-01
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
IPC: H01R33/06
Abstract: 快速退火炉卤素灯座，属于灯座技术领域。包括：陶瓷座体，包括主构件、副构件，所述副构件插接安装于主构件；灯管导电端子，具有导电凸块；所述灯管导电端子固定于主构件、副构件之间；灯座导电端子，固定于主构件、灯管导电端子之间，并与灯管导电端子导通；弹簧压板，弹簧压板的一端与灯管导电端子、灯座导电端子、主构件固接，另一端抵住副构件，将副构件与主构件压紧。本实用新型采用弹性压装，保证触点（灯管导电端子和灯座导电端子之间、灯管和灯管导电端子之间）紧密连接，提高了更换效率。
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公开(公告)号：CN219226234U
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202223571957.0
申请日：2022-12-31
Applicant: 扬州思普尔科技有限公司
Abstract: 一种晶圆热处理用冷却盘，属于半导体制造技术领域。其特征是，包括上盖板、下盖板、密封圈、进水口以及出水口，所述上盖板盖合固定于下盖板，并在上、下盖板之间形成过流通道；所述密封圈位于上、下盖板之间，所述进水口、出水口分别连通过流通道。所述下盖板的上表面，在侧边设有一圈密封槽，用于安装密封圈。本实用新型采用密封圈密封，即拆即装，提高了工作效率；本实用新型采用回字形过流通道，增大了冷却水与冷却盘的接触面积，提高了冷却效率。
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