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公开(公告)号:CN101034623A
公开(公告)日:2007-09-12
申请号:CN200710085687.3
申请日:2007-03-06
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种可变电容器及其制造方法,该制造方法提供在温度变化影响下电容保持稳定的可变电容器。这种可变电容器包括:固定电极;活动电极膜,其面对该固定电极;以及锚定部,其在该固定电极与该活动电极膜之间提供部分连接。为了制造这种可变电容器,形成第一电极以用作固定电极。然后,在固定电极上形成锚定部,并形成牺牲膜以覆盖固定电极但部分地暴露出锚定部。在牺牲膜上形成第二电极以用作活动电极膜,并接合至锚定部。最后,去除牺牲膜。
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公开(公告)号:CN107077198B
公开(公告)日:2020-02-21
申请号:CN201480083270.1
申请日:2014-11-12
Applicant: 富士通株式会社
Inventor: 岛内岳明
Abstract: 本发明的课题在于提供能够提供各种良好的触感的电子设备。电子设备包括:在上表面侧具有操作面的顶部面板;对在操作面进行的操作输入的坐标进行检测的坐标检测部;配设于顶部面板的背面侧的壳体;配设于顶部面板的第一振动元件;支承体,其将顶部面板支承于壳体,并能够将顶部面板相对于壳体的支承刚度在第一等级、与比第一等级低的第二等级之间进行切换;以及控制部,其在以使操作面产生超声波频带的固有振动的第一驱动信号驱动第一振动元件时,将支承体的支承刚度设定为第一等级,在以使操作面产生听力范围的振动的第二驱动信号驱动第一振动元件时,将支承体的支承刚度设定为第二等级。
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公开(公告)号:CN107077198A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201480083270.1
申请日:2014-11-12
Applicant: 富士通株式会社
Inventor: 岛内岳明
Abstract: 本发明的课题在于提供能够提供各种良好的触感的电子设备。电子设备包括:在上表面侧具有操作面的顶部面板;对在操作面进行的操作输入的坐标进行检测的坐标检测部;配设于顶部面板的背面侧的壳体;配设于顶部面板的第一振动元件;支承体,其将顶部面板支承于壳体,并能够将顶部面板相对于壳体的支承刚度在第一等级、与比第一等级低的第二等级之间进行切换;以及控制部,其在以使操作面产生超声波频带的固有振动的第一驱动信号驱动第一振动元件时,将支承体的支承刚度设定为第一等级,在以使操作面产生听力范围的振动的第二驱动信号驱动第一振动元件时,将支承体的支承刚度设定为第二等级。
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公开(公告)号:CN103430272B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201180069268.5
申请日:2011-06-02
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: B81B3/0018 , B81C1/00134 , H01H59/0009
Abstract: 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件(20)包括:基材(21);导电膜(31),具备固定在基材(21)上的第一端部(33)和第二端部(34),在第一端部(33)和第二端部(34)之间相对于基材(21)能够横向移动;第一驱动电极(25),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第一主表面(31a)相向的位置,并被施加第一驱动电压(V1);第二驱动电极(26),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第二主表面(31b)相向的位置,并被施加第二驱动电压(V2);端子(28),设置于基材(21)上的能够与导电膜(31)的第二主表面(31b)接触的位置。
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公开(公告)号:CN102190275B
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201110043026.0
申请日:2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00698 , B81B2201/0221 , H01G5/18
Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极,并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层,所述方法包括以下步骤:在固定电极和可动电极之间施加第一电压,使可动电极与电介质层进行接触,并且,在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前,在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反,并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
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公开(公告)号:CN103430272A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201180069268.5
申请日:2011-06-02
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: B81B3/0018 , B81C1/00134 , H01H59/0009
Abstract: 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件(20)包括:基材(21);导电膜(31),具备固定在基材(21)上的第一端部(33)和第二端部(34),在第一端部(33)和第二端部(34)之间相对于基材(21)能够横向移动;第一驱动电极(25),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第一主表面(31a)相向的位置,并被施加第一驱动电压(V1);第二驱动电极(26),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第二主表面(31b)相向的位置,并被施加第二驱动电压(V2);端子(28),设置于基材(21)上的能够与导电膜(31)的第二主表面(31b)接触的位置。
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公开(公告)号:CN101859643B
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201010124349.8
申请日:2010-02-26
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开一种可变电容元件。所述可变电容元件设置有衬底、设置在衬底上的信号线、设置在衬底上的固定电极和可动电极。可动电极包括可动部分和固定部分,可动部分跨过信号线并延伸到固定电极上方,并可相对于固定电极移动,固定部分隔着介电层固定到固定电极。
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公开(公告)号:CN101231921B
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN200810008706.7
申请日:2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种用于微机械装置的驱动控制方法及装置。该微机械装置由彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层构成。该驱动控制方法包括如下步骤:在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压,以对该第一电极和该第二电极施加用于使该第一电极或该第二电极移位的静电力;以及以预定周期或比该预定周期更短的周期切换该控制电压的极性。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生,并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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公开(公告)号:CN101256899B
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200810081333.6
申请日:2008-02-25
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种可移动微器件,包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极,其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿,而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。
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公开(公告)号:CN102054587A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN201010532052.5
申请日:2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01G5/16
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极,其相互绝缘;可动电极,其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极;电介质层,其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间;第一接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极;和第二接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极,所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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