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公开(公告)号：CN117423600B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202311743393.0
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法，涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域，装置包括：包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机；所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置，所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域；两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧，第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置，所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置，第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置；该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度，具有原位、同时性、无侵扰的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117451238B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311743364.4
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置，涉及电推进技术领域，方法包括：将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络，得到羽流发散角修正系数；根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络，将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络，得到未修正推力；将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络，得到天地修正系数，并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力；该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化，具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。
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公开(公告)号：CN117664792A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410128868.3
申请日：2024-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及电推进技术领域，具体涉及一种三维密度分布的断层成像重建装置及方法；该成像重建装置包括真空罐，真空罐内设有滑道；固定板，设于滑道上，且在固定板上设有推力器，推力器用于提供定向羽流等离子体；羽流数据采集装置，设于移动机构上，羽流数据采集装置用于采集定向羽流等离子体信息，羽流数据采集装置包括壳体和支撑结构、相机放置槽、以及遮挡结构，支撑结构设于壳体内，支撑结构上设有拍摄口，拍摄口内设有滤波片，相机放置槽对应拍摄口设置，拍摄口与壳体上的通孔对应设置，且相机放置槽朝向推力器设置，遮挡结构设于支撑结构上，并用于遮挡拍摄口。该成像重建装置，记录形式直观、直接获得羽流二维图像数据。
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公开(公告)号：CN117457467A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN117451238A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743364.4
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置，涉及电推进技术领域，方法包括：将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络，得到羽流发散角修正系数；根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络，将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络，得到未修正推力；将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络，得到天地修正系数，并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力；该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化，具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。
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公开(公告)号：CN117420121A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311743388.X
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N21/70 , G06F18/2135 , G06F18/23 , G01N21/25
Abstract: 本发明提出了基于碰撞辐射和光谱关联的金属光谱识别方法及系统，属于航天等离子体推进领域，首先确定实验中采集的光谱中心波长的偏移量；在满足偏移量的条件下，依据爱因斯坦发射系数、相对强度、上能级水平以及下能级水平的强度，综合比较进行谱线的初步辨识；对于偏移量满足确定的范围但仍无法区分的谱线，重点关注其上能级的能级结构，找出具有相同上能级的其他强谱线，进一步确定这些谱线是否存在，以完成基于碰撞辐射和光谱关联的复杂结构金属光谱识别，依靠此方法可以对钡钨空心阴极内部关键部件的金属谱线辨识分离。
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