公开(公告)号：CN109799626A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201910084526.5

申请日：2019-01-29

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  廉天航 ,  张大明 ,  王力磊 ,  牛东海 ,  王菲 ,  衣云骥

IPC: G02F1/01 ,  G02F1/313 ,  G02B6/122 ,  G02B6/125 ,  G02B6/35

Abstract: 一种基于掩埋石墨烯加热电极的低功耗脊型波导热光开关及其制备方法，属于聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件为MZI光波导结构，从左到右，由输入直波导，3-dB Y分支分束器，两条平行的第一干涉臂和第二干涉臂组成的器件调制区，3-dB Y分支耦合器和输出直波导构成；本发明采用硅片作为衬底，以热光系数较大的有机聚合物材料分别作为光波导的上包层、下包层和芯层材料，并将石墨烯加热电极置于光波导芯层之中，充分提高加热电极的加热效率并利用有机聚合物材料热光系数大、易于加工的优势。同时，本发明所采用的制作工艺比较简单且与半导体工艺相兼容、易于集成、适于大规模生产，因而具有重要的应用前景。