一种带有金属衬底的微型集成波导分束器件及其加工制备方法

    公开(公告)号:CN108535806B

    公开(公告)日:2019-12-27

    申请号:CN201810457229.6

    申请日:2018-05-14

    Applicant: 台州学院

    Abstract: 本发明公开一种带金属衬底的微型集成波导分束器,包含以下组件:纳米天线、波导层、耦合层及金属衬底。所述的纳米天线采用高折射率的纯电介质材料。所述的纳米天线尺寸与入射光波长同量级。所述的耦合层根据工作波长,满足FP共振条件。本发明还公开一种制备所述的带金属衬底的微型集成波导分束器的微纳米加工方法,包含以下步骤:硅片清洗、镀金膜、退火、镀SiO2膜、镀Si膜、样品清洗、光刻、镀Si膜与剥离、样品清洗、离子束刻蚀加工。

    一种Fe掺Ni3S2Ni2PNi12P5复合物的制备方法

    公开(公告)号:CN114182291B

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202111586708.6

    申请日:2021-12-23

    Applicant: 台州学院

    Abstract: 本发明公开了一种Fe掺杂Ni3S2/Ni2P/Ni12P5复合物,具有蘑菇状形貌,蘑菇伞的直径为1至4微米,蘑菇柄的直径为100至200纳米,蘑菇柄的长度为1至1.5微米,具有优异的电催化析氢性能。本发明还公开了一种制备所述蘑菇状的Fe掺Ni3S2/Ni2P/Ni12P5复合物的方法,包括截取泡沫镍、清洗干燥、掺杂处理、水热反应、磷化处理等步骤。

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