研磨组合物以及研磨方法
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106687552B

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201580047692.8

    申请日:2015-07-02

    Inventor: 野岛义弘

    Abstract: 本发明提供一种研磨组合物,其包含金属氧化物颗粒作为磨粒,所述研磨组合物的特征在于,作为所述金属氧化物颗粒,包含:在粉末X射线衍射图案中的衍射强度达到最大的峰部分的半值宽度不足1°的金属氧化物颗粒;进一步地,作为选择比调节剂,包含:2种以上的具有不同重均分子量的水溶性聚合物,该水溶性聚合物的不同重均分子量的比值为10以上。由此,提供一种研磨组合物以及使用该研磨组合物的半导体基板的研磨方法,所述研磨组合物维持高研磨速率,并能够抑制产生划痕、碟型凹陷、磨损等由研磨所引起的缺陷,并且能够任意地调节金属层与绝缘体层的研磨速度的比例即选择比。

    转印有硅薄膜的绝缘性晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN102017070B

    公开(公告)日:2013-10-16

    申请号:CN200980116731.X

    申请日:2009-10-29

    CPC classification number: H01L21/76254 H01L21/76256

    Abstract: 本发明提供了一种SOI晶片的制造方法,上述方法可防止由绝缘性基板和SOI层的热膨胀系数的差异引起的热应力、剥离、裂缝等问题的产生,同时改善SOI层的膜厚均一性。上述SOI晶片的制造方法包含以下工序:对绝缘性晶片的表面及具有氢离子注入层的单晶硅晶片的氢离子注入面中的至少一个表面施以表面活化处理的工序;将氢离子注入面与绝缘性晶片的表面贴合以获得贴合晶片的工序;将贴合晶片在第1温度进行热处理的工序;为了降低贴合晶片中单晶硅晶片的厚度,对贴合晶片中单晶硅晶片侧施以研削和/或蚀刻的工序;将贴合晶片在高于第1温度的第2温度下进行热处理的工序;通过对贴合晶片中的氢离子注入层施以机械性冲击,将氢离子注入层进行剥离的工序。

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